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4，精密儀器和設(shè)備4，1、精密加工與檢測設(shè)備4.1。1，本條給出了部分以時域示值的精密加工設(shè)備的容許振動值，并明確是以時域的峰值表示、4、1、2、本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的容許振動值有如下特點。1.由于精密儀器與設(shè)備本身是一個多自由度的復(fù)雜彈性系統(tǒng)，自身具有多個固有振動頻率及阻尼比.當(dāng)外界振動頻率與某個固有振動頻率一致時.系統(tǒng)產(chǎn)生共振 會影響其正常工作,而對于外界環(huán)境振動.經(jīng)大量實例及研究結(jié)果證明。是一種平穩(wěn)隨機振動過程。本身含有豐富的簡諧振動頻率,為了確保儀器及設(shè)備的正常工作、對外界環(huán)境中存在各種不同頻率的振動幅值進行限制，以減弱因共振等產(chǎn)生振動影響的做法是較為科學(xué)的 因此，本條規(guī)定的容許振動值均采用頻域表達.2.頻域采用1,3倍頻程中心頻率的幅值表示。這是因為對于隨機振動頻譜、采用1,3倍頻程帶寬的能量來描述隨機振動幅值大小是合適的 同時 設(shè)備制造提供的容許振動值也基本采用1 3倍頻程的中心頻率值表示.3,由于隨機振動能量分布在較寬的頻率范圍內(nèi).用峰值描述難以反映隨機振動的特性 采用均方根值有利于數(shù)據(jù)的檢驗及比對 因此本條規(guī)定的容許振動值采用頻域均方根值.4,由于普通的精密儀器與設(shè)備對于4Hz以下頻段的振動不敏感 因此不考慮其振動影響、對于4Hz。8Hz，頻段。則反映為對振動加速度敏感、因此采用振動加速度作為控制指標(biāo)、但對于控制精度較高的集成電路。激光裝置.納米加工等 其研發(fā)。加工與試驗用儀器及設(shè)備的自身即帶有空氣彈簧隔振裝置。而它們的固有振動頻率往往在1Hz 3Hz，為了降低這些頻段的振動響應(yīng).將容許振動值的頻段范圍延至1Hz。也即提高了對低頻段的振動限值要求、本條明確了電子工廠、納米實驗室及物理實驗室用精密儀器與設(shè)備以頻域的1 3倍頻程均方根值作為容許振動標(biāo)準(zhǔn)的限值 且不同頻段以不同的物理量示值.4.1,3、通常大中型三坐標(biāo)測量機，特別是大型懸臂式測量機容易受到環(huán)境振動影響、由于設(shè)備與被測工件較大，測量機布置位置相對固定 需要安裝在專門的地基基礎(chǔ)上.對基礎(chǔ)振動有一定要求。當(dāng)測量機對測量精度有特殊要求時,需要根據(jù)設(shè)備的具體要求專門設(shè)計地基基礎(chǔ).或采取必要的減振和隔振措施.根據(jù)三坐標(biāo)測量機廠家提供的測量機對環(huán)境振動的要求。以及對三坐標(biāo)測量機測試結(jié)構(gòu)系統(tǒng)的動力分析發(fā)現(xiàn),三坐標(biāo)測量機的一階固有頻率多在10Hz,30Hz范圍內(nèi)。在此區(qū)間的環(huán)境振動容易引起測試機構(gòu)共振，影響測量精度。在通常情況下、只要確保8Hz、100Hz范圍內(nèi)的基礎(chǔ)振動符合設(shè)備使用條件 就能保證測量精度不受振動影響、而多數(shù)三坐標(biāo)測量機要求的頻率范圍是0、5Hz、100Hz.在這個頻率區(qū)間內(nèi)控制好環(huán)境振動,應(yīng)該更能確保三坐標(biāo)測量精度.這樣的要求也更加保險,測量值應(yīng)取平均幅值、測量的波峰因數(shù)應(yīng)小于6 由于三坐標(biāo)測量機的型式種類非常多,不同廠家不同機型的容許振動限值也不一樣 根據(jù)數(shù)十臺三坐標(biāo)測量機的技術(shù)條件.在確保80，保證率的前提下。提出了三坐標(biāo)基礎(chǔ)的容許振動限值、對于少數(shù)有特殊要求的三坐標(biāo)測量機，則需要根據(jù)具體設(shè)備的要求設(shè)計基礎(chǔ) 位移限值主要用于低頻振動控制.加速度限值用于高頻振動控制，對于10Hz、30Hz范圍的振動要求較嚴(yán)格一些.當(dāng)頻率大于100Hz時。振動控制相對容易一些、有些較低精度三坐標(biāo)測量機的振動要求可以達到300mm、s2、考慮到本標(biāo)準(zhǔn)其他章節(jié)的限值條件、容許振動加速度值均控制在200mm。s2.300mm,s2。在實際應(yīng)用中.可以根據(jù)具體測量機的要求對技術(shù)指標(biāo)作適當(dāng)調(diào)整,圖2是三坐標(biāo)測量機對環(huán)境振動的要求,圖2.三坐標(biāo)測量機的容許振動值