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5 3，靜電敏感電氣或電子元件,組件和設(shè)備5.3、1、本條根據(jù)國(guó)際電工委員會(huì)標(biāo)準(zhǔn) 電氣或電子元件.組件和設(shè)備防靜電技術(shù)要求,IEC,61340 5。1,2007規(guī)定，其防靜電工作區(qū)的防護(hù)等級(jí)、以靜電安全電壓、100V為界限值分為兩級(jí)。當(dāng)靜電安全電壓小于或等于,100V時(shí).該防靜電工作區(qū)的地面電阻值小于107Ω 其適用場(chǎng)所如下 1.微電子器件制造和測(cè)試場(chǎng)所、包括。1 芯片的氧化,擴(kuò)散，清洗 刻蝕 薄膜、離子注入 CMP 光刻。檢測(cè)、設(shè)備區(qū)等工序,2、芯片封裝的劃片、鍵合.封裝等工序，3，TFT液晶制造的陣列板，薄膜、光刻，刻蝕。剝離,成盒。涂覆、摩擦,液晶注入。切割、磨邊 模塊.彩模板,C,F。等工序，2.電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中操作靜電敏感器件的場(chǎng)所、包括.1、硬盤(pán)制造。HDD,區(qū).2。等離子電視,PDP 核心區(qū) 3。彩色顯像管表面處理工序。4,高密磁帶制造,5.光導(dǎo)纖維制造.6。光盤(pán)制造工序.7。磁頭生產(chǎn)的核心區(qū)。當(dāng)靜電安全電壓大于.100V時(shí)。該防靜電工作區(qū)的地面電阻值小于109Ω、其適用場(chǎng)所如下。1，靜電敏感精密電子儀器的測(cè)試和維修場(chǎng)所、2。靜電敏感電子器件制造和測(cè)試場(chǎng)所、包括，1 半導(dǎo)體材料制造的拉單晶,磨，拋.外延等工序,2,STN液晶制造 3、硬盤(pán)制造除制造區(qū)外的其他區(qū),4。等離子電視。PDP,的支持區(qū),5,鋰電池制造。晾干工藝和其他地區(qū)，6、彩色顯像管制造,錐石墨涂覆、陰罩裝配等工序，7 印制版的照相、制版干膜工序.8,光導(dǎo)纖維的預(yù)制棒。拉絲工序 9，磁頭生產(chǎn)的清洗區(qū) 10，片式陶瓷電容 片式電阻等制造，絲印，流延工序，11、聲表面波器件制造,光刻、顯影、鍍膜.清洗 劃片 封帽工序.3 除上述范圍以外的電子器件和整機(jī)的組裝調(diào)試場(chǎng)所。4。存在外部電磁干擾 必須對(duì)環(huán)境中電子設(shè)備和設(shè)施提供最基本防靜電保護(hù)的場(chǎng)所,5.3。2，本條對(duì)計(jì)算機(jī)房及各類通信、管制、遙測(cè).遙控，調(diào)度，指揮中心等場(chǎng)所的地面選擇作出規(guī)定，這些場(chǎng)所因使用環(huán)境的需要,有大量的輸入輸出信號(hào)電纜連接.因此，多采用活動(dòng)地板，電性能指標(biāo)比較穩(wěn)定的活動(dòng)地板。有水磨石地板.天然花崗巖和由基材,防靜電貼面板及導(dǎo)通件組成的復(fù)合活動(dòng)地板等?；◢弾r屬火成巖。含有二氧化硅等成分 是很好的防靜電面層材料 編制組對(duì)我國(guó)東北.西北。華北 華東.華中.華南十幾個(gè)省所產(chǎn)的花崗巖和美國(guó),意大利等國(guó)進(jìn)口的花崗巖。進(jìn)行過(guò)大量的調(diào)研和電性能測(cè)試、結(jié)果表明 上述各地,各種花樣的花崗巖的體積電阻率都在109Ω，cm以下，這是材料本身的固有性能,在設(shè)計(jì),施工防靜電地面或活動(dòng)地板時(shí)，可局部采用活動(dòng)地板。而場(chǎng)所其余部分仍采用防靜電建筑地面，這樣、其地面面層類型的選擇面更大一些,如選擇復(fù)合防靜電瓷板 防靜電樹(shù)脂類活動(dòng)地板等 在進(jìn)行產(chǎn)品比選時(shí),應(yīng)先進(jìn)行樣品檢測(cè)，確認(rèn)符合要求后再選用,不論采用何種類型架空活動(dòng)地板。其結(jié)構(gòu)，強(qiáng)度和電性能等。都應(yīng)滿足本規(guī)范的要求、5。3，3、移動(dòng)式地墊是臨時(shí)性防靜電地面,適用于臨時(shí)構(gòu)建的防靜電工作區(qū)，滿足有防靜電要求的設(shè)備維護(hù),檢修的某些局部性的防靜電工作區(qū).移動(dòng)地墊種類較多。常用的是防靜電塑膠地墊。它一般由底層 導(dǎo)電橡膠,中間層、布料。面層、防靜電塑膠.三層結(jié)構(gòu)組成，此外還有防靜電織品類.防靜電非織造布類等材質(zhì)做成的地墊。防靜電移動(dòng)式地墊使用時(shí)應(yīng)可靠接地。