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4。2,潔凈室,區(qū).環(huán)境監(jiān)控設計4，2,1。根據工藝要求，應對潔凈室 區(qū),的空氣參數進行監(jiān)視.測量和記錄。4，2，2、潔凈室,區(qū)。的監(jiān)控系統(tǒng)與凈化空調的監(jiān)控系統(tǒng)宜合用?；虿捎猛ㄐ诺姆绞竭M行數據共享 4，2。3、多個潔凈室,區(qū)。采用一套監(jiān)控系統(tǒng)時。應根據最嚴格的潔凈室、區(qū) 的溫度和濕度要求選擇控制系統(tǒng)的精度，4,2 4，潔凈室，區(qū)。內外的壓差檢測。宜采用壓差變送器監(jiān)測 4 2,5,潔凈室.區(qū)。安裝有過濾器時。宜具有過濾器壓差報警功能,4 2、6.傳感器宜對化學物質沉積采取防護措施或具備自潔功能，