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- 電子工業(yè)廠房綜合自動化工程技術(shù)標準 GB 51321-2018
- 條文說明
- 1 總則
- 3 基本規(guī)定
- 4 系統(tǒng)設(shè)計
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 潔凈室（區(qū)）環(huán)境監(jiān)控設(shè)計
- 4.3 供暖、通風與空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.4 冷熱源系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.5 工藝冷卻水系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.6 壓縮空氣、真空及大宗氣體系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.7 純水站系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.8 特種氣體及化學品輸配系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.10 工業(yè)污水處理系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)計
- 4.11 工廠能源管理及節(jié)能系統(tǒng)設(shè)計
- 4.12 公共安全系統(tǒng)設(shè)計
- 4.13 信息設(shè)施系統(tǒng)設(shè)計
- 4.14 自動化集成系統(tǒng)設(shè)計
- 4.15 信號傳輸線路設(shè)計
- 5 工程施工
- 6 驗收移交
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- 建筑防火通用規(guī)范[附條文說明] GB 55037-2022
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4,2，潔凈室。區(qū),環(huán)境監(jiān)控設(shè)計4、2,1。對溫度，濕度、露點溫度，壓差，潔凈度,空氣成分等全部或部分空氣參數(shù)進行監(jiān)視，測量和記錄,并及時報警，維持潔凈環(huán)境,滿足工藝生產(chǎn)的要求。對于生產(chǎn)新型顯示器件及半導體器件的潔凈室環(huán)境。懸浮分子污染物 Airborne Molecular。Contaminants、AMC.的控制越來越重要。國際半導體設(shè)備與材料協(xié)會.Semiconductor，Equipment.and。Materials.International、SEMI，的標準根據(jù)化學品的特性 將潔凈室中的空氣污染物分為酸.Molecular Acids，MA、堿 Molecular。Bases MB，可凝聚物。Molecular,Condensables、MC 和摻雜物,Molecular,Dopants.MD.4 2 2.系統(tǒng)合用便于統(tǒng)一管理,保證數(shù)據(jù)傳輸?shù)目煽?，及時，如分開設(shè)置.需采取措施保證不同監(jiān)控系統(tǒng)間數(shù)據(jù)通信的可靠，及時 4,2，3，在同一棟生產(chǎn)廠房內(nèi)，工藝段對潔凈環(huán)境的溫度,濕度 壓力要求不同,但控制系統(tǒng)共用時 控制系統(tǒng)的選擇應滿足最嚴格的要求.4.2，6、個別生產(chǎn)工藝段有化學沉積現(xiàn)象.化學物質(zhì)沉積在敏感元件處時會影響測量精度,嚴重的會使傳感器失去功能,因此，要采取適當?shù)姆雷o措施.