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4。2、精密設備及儀器容許振動值4 2,1，電子工業(yè)。納米實驗室及理化實驗室等所用精密設備及儀器的容許振值、即表4.2.1所規(guī)定的微振動標準、是一個與國際常用標準接軌的容許振動標準,該標準于1983年由美國BBN公司提出、即所謂的VC曲線,1993年,美國環(huán)境科學技術協(xié)會,Insti。tute，of.Environmental Sciences，and Technology.確認 稱為IEST研究報告、由于電子工業(yè)的飛速發(fā)展。設備及工藝方法的快速更新.2007年IEST又導入了納米技術采用設備的容許振動限值，從而形成了一個比較完整的標準 我國自改革開放以來 電子工業(yè)發(fā)展迅速。特別是在集成電路,液晶顯示器、納米技術 新能源技術,激光技術等方面.建成了一大批工廠及實驗室.同時由于產品更新而引起的設備更新及技術進步更是日新月異，這類工程設計與建設,都有防微振技術需求.其中對于精密設備及儀器的容許振動值的確定、幾乎都采用IEST標準，而且在工程建成投產后 均滿足了生產要求。因此可以認為，采用該標準是恰當的。表4 2。1所列容許振動值有如下特點.1，由于精密設備及儀器本身是一個多自由度的復雜彈性系統(tǒng)、自身具有多個固有振動頻率及阻尼比。當外界振動頻率與其固有振動頻率相一致時.系統(tǒng)產生共振,將影響其正常工作 而對于外界環(huán)境振動 大量實測及研究結果表明是一種隨機振動過程、本身含有豐富的簡諧振動頻率、為了確保設備及儀器的正常工作。在頻域對外界環(huán)境振動幅值進行限制 以減弱因共振等振動影響是較為科學的、因此、表4、2、1所列容許振動值采用頻域表達。2.頻域采用1。3倍頻程帶寬表示 這是因為對于隨機振動頻譜,采用1，3倍頻程帶寬來描述帶寬振動的能量是合適的，同時 設備制造商提供的容許振動值也基本采用1。3倍頻程帶寬表示,3。由于隨機振動能量分布在較寬的頻率范圍內,用峰值描述難以反映隨機振動特性,采用均方根值有利于數據的檢驗及比對。因此表4.2.1中振動幅值采用均方根值。4，在標準產生的初期、由于當時的設備及儀器對于小于4Hz的頻段的振動不敏感，因此就不考慮其振動影響。對于4Hz 8Hz頻段.則反映對振動加速度敏感、因此采用振動加速度作為控制指標 隨著時間的推移,電子工業(yè)及以后出現(xiàn)的激光 納米技術等 工藝精度越來越高。就需研發(fā)精度更高的精密設備及儀器。這類新研發(fā)的設備及儀器 自身帶有空氣彈簧隔振裝置 而它們的固有振動頻率往往在1Hz.3Hz,為了防止在這些頻段的振動影響 對容許振動值的頻段范圍延至1Hz、也即提高了對低頻段的振動限值要求 4,2。2,本條對實驗室用精密設備及儀器的容許振動值的規(guī)定,沿用了現(xiàn)行國家標準、隔振設計規(guī)范 GB.50463中的有關規(guī)定 4 2 3，本條明確了消聲室和半消聲室容許振動加速度值與這些聲學實驗室所要求的本底噪聲級別有關。對于要求本底噪聲級別低的.即嚴格的.其容許振動值也小。對于這類聲學實驗室,振動頻率限制在31，5Hz，500Hz。并按倍頻程計算,4.2,4,消聲水池是為聲學器件或聲學裝置進行水池聲學實驗的一個建筑設施，根據聲學實驗的要求.需對消聲水池壁及池底的振動有所限制、其容許振動值在頻域衡量 通常頻率下限都在400Hz以上,而對于1000Hz以上的振動。在土中及結構中衰減較快.可以忽略 因此，取頻段400Hz、1000Hz范圍是可行的.