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9。4、空氣調(diào)節(jié)與凈化9.4.1，玻璃基板工廠內(nèi)的空氣潔凈度，溫度.濕度應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝的要求，9,4、2，玻璃基板工廠潔凈室與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差、靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定 1，不同等級的潔凈室之間的靜壓差不宜小于5Pa、2 潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa.3、潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa、9。4,3。生產(chǎn)區(qū)凈化房間的新風(fēng)量應(yīng)取下列兩項中的較大值.1 補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和,2、供給潔凈室。區(qū)，內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。供給非潔凈室.區(qū).內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于30m3。9、4，4.凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)應(yīng)進行集中處理，新風(fēng)處理機組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定、1，送風(fēng)機應(yīng)采取自動調(diào)速措施、2 空氣宜經(jīng)過粗效,中效.高效過濾器三級處理、3，應(yīng)有良好的氣密性.在工作壓力下的漏風(fēng)率不得大于1 4 應(yīng)設(shè)置備用新風(fēng)處理機組,或在空調(diào)設(shè)備內(nèi)設(shè)置備用風(fēng)機。5,寒冷地區(qū)或嚴寒地區(qū)的新風(fēng)機組,應(yīng)設(shè)置防凍措施以避免危害機組的正常運行，9。4，5。凈化空調(diào)機組的選用及布置應(yīng)符合下列規(guī)定 1,送風(fēng)機宜采取變頻調(diào)速措施、2.應(yīng)有良好的氣密性.在工作壓力下的漏風(fēng)率不得大于1,3。當(dāng)服務(wù)于生產(chǎn)連續(xù)性要求較強的或工藝對房間溫濕度要求較高的環(huán)境時。空調(diào)機組宜設(shè)置備機或設(shè)置備用風(fēng)機，當(dāng)空調(diào)機組或風(fēng)機產(chǎn)生故障時,備機或備用風(fēng)機應(yīng)自動啟動,9 4.6、風(fēng)機過濾單元。FFU?；蚋咝н^濾風(fēng)口的布置應(yīng)符合下列規(guī)定,1,應(yīng)根據(jù)潔凈度等級及送風(fēng)量來確定、2。應(yīng)根據(jù)房間的層高，吊頂形式.氣流要求以及工藝設(shè)備的布置要求來確定,3。應(yīng)便于檢修及更換過濾器,4 滿布率較高時。外殼的強度應(yīng)滿足檢修的要求,5,送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié).9,4,7。干冷卻盤管的選用及布置應(yīng)符合下列規(guī)定,1、冷凍水的進水溫度。宜高于潔凈室 區(qū)、空氣的露點溫度,2 外形尺寸以及處理溫差應(yīng)根據(jù)房間內(nèi)的循環(huán)空氣風(fēng)量、負荷情況以及空氣過濾單元所提供的機外余壓確定，3，布置在同一潔凈室。區(qū).內(nèi)的干冷卻盤管 在工作條件下空氣側(cè)阻力相差不應(yīng)大于10，4，應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施 非落地安裝的干冷卻盤管應(yīng)設(shè)置積水盤 5 供回水管上面閥組的位置設(shè)置，應(yīng)考慮檢修方便并避免設(shè)置在重要工藝設(shè)備以及配電設(shè)備的上方.9。4、8，空態(tài)潔凈室噪聲級設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范.GB.50472的有關(guān)規(guī)定、9 4。9,設(shè)置在融化區(qū)配電間及控制室的空調(diào)系統(tǒng)宜設(shè)置備用機組、當(dāng)采用冷凍水作為空調(diào)冷源且冷凍水系統(tǒng)不設(shè)應(yīng)急電源時 宜采用自帶冷源的風(fēng)冷空調(diào)機組作為備機,風(fēng)冷空調(diào)機應(yīng)由應(yīng)急電源供電、