9 4??諝庹{(diào)節(jié)與凈化9.4 2,潔凈室、區(qū).與周圍的環(huán)境要保持一定的靜壓差、這是為了確保潔凈室,區(qū),的正常工作狀態(tài)或空氣平衡暫時(shí)受到破壞時(shí),空氣流只能從空氣潔凈度等級高的房間,區(qū)域,流向空氣潔凈度等級低的房間。區(qū)域、使?jié)崈羰?、區(qū),內(nèi)的空氣潔凈度不會(huì)受到污染空氣的干擾,玻璃基板工廠內(nèi)因工藝工序連續(xù)性的要求、有些不同潔凈度的潔凈室,區(qū).以及潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間可能會(huì)有一些無法封堵的工藝孔洞 設(shè)計(jì)需要配合工藝進(jìn)行相關(guān)的設(shè)計(jì)考慮,以保持各區(qū)域之間的壓力滿足要求 9 4,4,本條對新風(fēng)處理機(jī)組的設(shè)置做了規(guī)定.1 本款規(guī)定是為了很好地控制潔凈室內(nèi)的正壓值.同時(shí)也為了節(jié)能,2,本款規(guī)定的目的是室外含塵空氣在送入潔凈室前得以徹底過濾。從而延長潔凈室頂部風(fēng)機(jī)過濾單元。FFU。內(nèi)過濾器的使用壽命、3 本款規(guī)定是為了提高新風(fēng)處理系統(tǒng)的可靠性、確保潔凈室內(nèi)的正壓值和潔凈度,9,4,5,本條對凈化空調(diào)機(jī)組的選用及布置做了規(guī)定 1,本款規(guī)定是為了滿足節(jié)能要求 3,本款規(guī)定是為了提高風(fēng)處理系統(tǒng)的可靠性、確保潔凈室內(nèi)的溫濕度和潔凈度,9,4,7 本條對干冷卻盤管的選用及布置做了規(guī)定,1、本款規(guī)定主要是考慮房間相對濕度是由新風(fēng)機(jī)組保證的,干冷卻盤管不承擔(dān)去濕功能、而且為了潔凈室的維護(hù)以及相對濕度的控制,干冷卻盤管不應(yīng)有去濕功能 干冷卻盤管的供水溫度應(yīng)通過計(jì)算確定.通常要高于潔凈室,區(qū),內(nèi)的露點(diǎn)溫度。2,本款規(guī)定主要是考慮到干冷卻盤管尺寸的選擇會(huì)對潔凈室氣流循環(huán)阻力以及處理負(fù)荷起到很大影響、對于風(fēng)過濾單元,F(xiàn)FU、的機(jī)外余壓的選擇以及降低能源消耗都是重要的影響因素 3,本款規(guī)定主要考慮到氣流以及房間溫度的控制。4 干冷卻盤管在正常運(yùn)行時(shí)雖無冷凝水析出,但考慮到潔凈室在高濕環(huán)境下啟動(dòng)干冷卻盤管 管路系統(tǒng)意外滲漏以及干冷卻盤管及水系統(tǒng)需要檢修而排水等因素,最好還應(yīng)設(shè)置積水盤及排水系統(tǒng),5、本款規(guī)定主要考慮到水管閥組如設(shè)置在重要工藝設(shè)備以及配電設(shè)備上方 如產(chǎn)生漏水情況,會(huì)對設(shè)備,人員安全以及生產(chǎn)造成很大影響 9,4、9.本條規(guī)定主要是考慮薄膜晶體管顯示器件玻璃基板工廠的特殊性 熔化區(qū)的生產(chǎn)為連續(xù)且不能間斷,為生產(chǎn)服務(wù)的配電間及控制室一般布置在熔化區(qū)域周邊 房間內(nèi)電氣設(shè)備發(fā)熱量較大且周圍環(huán)境溫度均很高、如房間空調(diào)故障會(huì)對生產(chǎn)正常運(yùn)行造成很大影響,因此需要考慮設(shè)置備用機(jī)組,當(dāng)冷凍水系統(tǒng)不設(shè)應(yīng)急電源的時(shí)候。如出現(xiàn)供電事故時(shí),設(shè)置了應(yīng)急電源的風(fēng)冷空調(diào)機(jī)組應(yīng)能投入使用。確保房間溫度 同時(shí)。風(fēng)冷空調(diào)機(jī)組應(yīng)能保證全年可運(yùn)行制冷、風(fēng)冷空調(diào)的選型應(yīng)能滿足冬季室外溫度條件下能夠正常運(yùn)行在制冷工況