9。5。靜電防護(hù)及接地9。5.1,潔凈廠房應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采取靜電防護(hù)措施。9,5,2,潔凈室,區(qū),內(nèi)的防靜電地面,其性能應(yīng)符合下列規(guī)定,1。地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能。并應(yīng)保持長(zhǎng)時(shí)間性能穩(wěn)定 2,地面的面層應(yīng)采用靜電耗散性的材料。其表面電阻率應(yīng)為1,0 105Ω。1.0 1012Ω。或體積電阻率為1。0,104Ω、cm、1 0、1011Ω,cm,3,地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造,其對(duì)地泄放電阻值應(yīng)為1 0,105Ω,1 0、109Ω,9、5、3.潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采取防靜電接地措施.9、5。4,潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備 流動(dòng)液體,氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施,其中有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)場(chǎng)所的設(shè)備,管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范.GB。50058的有關(guān)規(guī)定、9.5,5 防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子,在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán),在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0,1Ω.9,5.6,潔凈廠房?jī)?nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則、其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接 直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè) 并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜,9、5、7.接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω,選擇分散接地方式時(shí) 各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體。兩者應(yīng)保持20m以上的間距,潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范。GB.50057的有關(guān)規(guī)定