亚洲综合网站久久久_人妻久久相姦中文字幕_四虎永久在线精品免费看_日韩精品无码一区

6 空氣凈化6.1。一般規(guī)定6,1.1。潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是生產(chǎn)工藝的需要、是確保產(chǎn)品的成品率和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性，長(zhǎng)壽命所必需的，隨著我國國民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展。各行各業(yè)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的溫度 相對(duì)濕度和潔凈度的要求也越來越高、例如、大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展很快、在1980年時(shí)其集成度只有64kB,而到目前集成度已提高到1GB，64kB集成電路前工序生產(chǎn)所要求生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級(jí)只有4級(jí)和5級(jí)、而1GB集成電路前工序生產(chǎn)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈度等級(jí)的要求提高到1級(jí)和2級(jí) 0、1μm，不同的生產(chǎn)工藝,不同的生產(chǎn)工序?qū)ιa(chǎn)環(huán)境的要求也是不相同的 因此 確定潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)時(shí)應(yīng)根據(jù)不同工藝.不同工序?qū)Νh(huán)境的潔凈度要求而定、根據(jù)不同生產(chǎn)工藝 不同生產(chǎn)工序?qū)Νh(huán)境潔凈度的不同要求,該高則高，該低則低。盡量縮小高潔凈度等級(jí)部分的面積,以局部高等級(jí)凈化和全室較低等級(jí)凈化的潔凈室系統(tǒng)代替全室高等級(jí)凈化的潔凈室系統(tǒng)、既能確保不同生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境的要求 又能大幅度地降低初投資和運(yùn)行費(fèi)用 例如 對(duì)于生產(chǎn)1GB超大規(guī)模集成電路前工序的潔凈室來說。在整個(gè)生產(chǎn)過程中只有少數(shù)工序.制版，光刻等.對(duì)環(huán)境的潔凈度等級(jí)要求最高為1級(jí)或2級(jí),而其他大部分工序只要求5級(jí),6級(jí).甚至只有7級(jí)。不需將全部潔凈室都設(shè)計(jì)為1級(jí)或2級(jí).6.1。4.人是潔凈室內(nèi)主要的發(fā)塵源。作業(yè)人員進(jìn)入潔凈室必須穿著與潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)相適應(yīng)的潔凈工作服、由于潔凈工作服的透氣性較差,為了保證作業(yè)人員的工作環(huán)境，提高勞動(dòng)生產(chǎn)率、在潔凈室生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境的溫,濕度沒有特殊要求時(shí)、潔凈室內(nèi)的溫度主要是為了作業(yè)人員的舒適，因此.潔凈室溫度冬季為20 22.夏季為24.26，濕度冬季為30、50。夏季為50。70。比較適宜，由于潔凈室.區(qū),的溫度、相對(duì)濕度首先應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定、只有在生產(chǎn)工藝無要求時(shí)，才能按本條的規(guī)定根據(jù)作業(yè)人員的舒適度確定.但在本規(guī)范實(shí)施中因潔凈廠房生產(chǎn)的產(chǎn)品多種多樣 作業(yè)人員多少和工作條件也不相同,所以強(qiáng)制執(zhí)行有困難 為此本次修訂改為推薦性條文.6、1 5。本條為強(qiáng)制性條文，現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)。采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范,GB.50019中對(duì)一般工業(yè)廠房的新鮮空氣量的規(guī)定為每人每小時(shí)不小于30m3，由于新鮮空氣量是確保潔凈室。區(qū)、作業(yè)人員健康的重要條件之一，所以本次修訂中對(duì)潔凈室、區(qū),的新鮮空氣量規(guī)定為應(yīng)取補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和.保證供給潔凈室。區(qū)，內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3 兩項(xiàng)中的最大值、