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4、5。微振控制4，5，1。有微振控制要求的潔凈廠房.設(shè)計應(yīng)考慮建筑結(jié)構(gòu)的選型及地面。樓面.的構(gòu)造做法、如增加基礎(chǔ)及上部結(jié)構(gòu)垂直及橫向剛度,增加地面，樓面。剛度.能有效減小振動影響 此外，還應(yīng)考慮隔振縫設(shè)置及其有效的構(gòu)造措施、壁板與地面及頂棚采用柔性連接等,均能減小振動傳遞、即減小了對精密設(shè)備.儀器儀表的振動影響 在潔凈廠房設(shè)計中 應(yīng)首先考慮對強振源采取隔振措施。以減小強振源對精密設(shè)備，儀器儀表的振動影響、在此基礎(chǔ)上，精密設(shè)備.儀器儀表再根據(jù)各自的容許振動值采取被動隔振措施。就大致能夠達(dá)到預(yù)定目的 在原規(guī)范中。本條為強制性條文.雖然明確規(guī)定本條只用于有微振控制要求的潔凈廠房 但由于沒有量化的規(guī)定,容易引起執(zhí)行不準(zhǔn)確的問題，實施以來確有此種情況發(fā)生、為此本次修訂將本條改為推薦性條文.4。5、4。精密設(shè)備。儀器儀表的被動隔振措施,由隔振臺座及隔振器，或隔振裝置.組成,根據(jù)隔振設(shè)計計算需要，設(shè)定隔振臺座為不變形剛體，為此應(yīng)對隔振臺座的形狀 幾何尺寸及材質(zhì)選用等方面加以考慮 使之具有足夠的剛度,某些精密設(shè)備。儀器儀表在運行時 由于移動部件位置變化或加工。測試件的質(zhì)量及質(zhì)心位置變化。使各隔振器的變形量不相等.隔振臺座發(fā)生傾斜、導(dǎo)致精密設(shè)備、儀器儀表難以正常工作，為此 應(yīng)設(shè)置校正傾斜裝置、使隔振臺座保持原有的水平度 以保證精密設(shè)備.儀器儀表的正常運行，隔振系統(tǒng)阻尼過小，會產(chǎn)生較大的自振，以及受外界突發(fā)干擾,如對隔振臺座的沖擊。室內(nèi)氣流的擾動影響等，造成隔振臺座晃動 這種振動值有時會大于精密設(shè)備、儀器儀表的容許振動值。影響其正常運行,為此應(yīng)增大隔振系統(tǒng)阻尼值,才能減小此類振動、通過多項工程實踐表明.隔振系統(tǒng)阻尼比不小于0，15是比較恰當(dāng)?shù)?4，5。5,空氣彈簧的垂直向。橫向剛度很低，使隔振系統(tǒng)具有很低的固有振動頻率、同時它具有可調(diào)節(jié)阻尼值的特性,隔振系統(tǒng)可獲得需要的阻尼、因此。隔振系統(tǒng)具有良好的隔振效果。當(dāng)配用高精度控制閥時.可自動校正隔振臺座的傾斜，由于空氣彈簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的優(yōu)越性、已被我國及國際工程界普遍采用作為精密設(shè)備,儀器儀表的隔振元件。用于被動隔振措施的空氣彈簧隔振裝置由空氣彈簧隔振器，高精度控制閥,儀表箱及氣源組成。由于空氣彈簧隔振裝置在校正隔振臺座傾斜時會排出氣體.如壓縮空氣.氮氣等,因此對氣源應(yīng)進行凈化處理。使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級 才能保證排出的氣體不致對潔凈室造成污染,