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6，空氣凈化6,1.一般規(guī)定6.1、1。潔凈的生產(chǎn)環(huán)境是生產(chǎn)工藝的需要、是確保產(chǎn)品的成品率和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性、長(zhǎng)壽命所必需的.隨著我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展 各行各業(yè)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的溫度，相對(duì)濕度和潔凈度的要求也越來(lái)越高 例如,大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展很快，在1980年時(shí)其集成度只有64kB 而到目前集成度已提高到1GB，64kB集成電路前工序生產(chǎn)所要求生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度等級(jí)只有4級(jí)和5級(jí) 而1GB集成電路前工序生產(chǎn)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈度等級(jí)的要求提高到1級(jí)和2級(jí),0 1μm。不同的生產(chǎn)工藝 不同的生產(chǎn)工序?qū)ιa(chǎn)環(huán)境的要求也是不相同的,因此,確定潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)時(shí)應(yīng)根據(jù)不同工藝 不同工序?qū)Νh(huán)境的潔凈度要求而定 根據(jù)不同生產(chǎn)工藝,不同生產(chǎn)工序?qū)Νh(huán)境潔凈度的不同要求,該高則高。該低則低,盡量縮小高潔凈度等級(jí)部分的面積,以局部高等級(jí)凈化和全室較低等級(jí)凈化的潔凈室系統(tǒng)代替全室高等級(jí)凈化的潔凈室系統(tǒng),既能確保不同生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境的要求,又能大幅度地降低初投資和運(yùn)行費(fèi)用。例如.對(duì)于生產(chǎn)1GB超大規(guī)模集成電路前工序的潔凈室來(lái)說(shuō)、在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中只有少數(shù)工序,制版、光刻等 對(duì)環(huán)境的潔凈度等級(jí)要求最高為1級(jí)或2級(jí)、而其他大部分工序只要求5級(jí)、6級(jí)，甚至只有7級(jí) 不需將全部潔凈室都設(shè)計(jì)為1級(jí)或2級(jí).6.1，4，人是潔凈室內(nèi)主要的發(fā)塵源,作業(yè)人員進(jìn)入潔凈室必須穿著與潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)相適應(yīng)的潔凈工作服，由于潔凈工作服的透氣性較差。為了保證作業(yè)人員的工作環(huán)境.提高勞動(dòng)生產(chǎn)率.在潔凈室生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境的溫,濕度沒(méi)有特殊要求時(shí)，潔凈室內(nèi)的溫度主要是為了作業(yè)人員的舒適。因此。潔凈室溫度冬季為20。22 夏季為24.26.濕度冬季為30.50。夏季為50.70.比較適宜.由于潔凈室、區(qū)。的溫度、相對(duì)濕度首先應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定，只有在生產(chǎn)工藝無(wú)要求時(shí)、才能按本條的規(guī)定根據(jù)作業(yè)人員的舒適度確定 但在本規(guī)范實(shí)施中因潔凈廠房生產(chǎn)的產(chǎn)品多種多樣、作業(yè)人員多少和工作條件也不相同,所以強(qiáng)制執(zhí)行有困難。為此本次修訂改為推薦性條文,6、1 5.本條為強(qiáng)制性條文.現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn).采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范，GB 50019中對(duì)一般工業(yè)廠房的新鮮空氣量的規(guī)定為每人每小時(shí)不小于30m3.由于新鮮空氣量是確保潔凈室,區(qū).作業(yè)人員健康的重要條件之一，所以本次修訂中對(duì)潔凈室,區(qū).的新鮮空氣量規(guī)定為應(yīng)取補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和 保證供給潔凈室，區(qū)，內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。兩項(xiàng)中的最大值,