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8 6、空氣彈簧隔振器8，6。1，空氣彈簧隔振裝置是由空氣彈簧隔振器、高度控制閥、控制柜及氣路等組成的裝置 氣浮式隔振系統(tǒng)由臺(tái)座 空氣彈簧隔振裝置及控制系統(tǒng)組成.與其他隔振材料或隔振器相比.空氣彈簧的三種隔振方式具有剛度低、能隨著質(zhì)心變動(dòng)追蹤的特點(diǎn),隔振效果良好.已成為精密儀器及設(shè)備隔振的主要隔振元件。8，6.2、本條提出空氣彈簧隔振器制造商需要提供的資料,空氣彈簧氣密性參數(shù)為當(dāng)充氣氣壓達(dá)0 5MPa后保壓，即不充.不排、經(jīng)24h后氣壓下降值不大于0 02MPa時(shí)。認(rèn)為氣密性是良好的,8，6.3。在容積不變的條件下.空氣彈簧的剛度因膠囊結(jié)構(gòu)形式不同而變化，常用的膠囊結(jié)構(gòu)有4種、即自由膜式,約束膜式。囊式及滑膜式.其中自由膜式及約束膜式最為常用.多曲囊式大于3曲時(shí)、不要使用、會(huì)因橫向剛度過小而產(chǎn)生橫向不穩(wěn)定現(xiàn)象，滑膜式不常使用。8 6,4,由于空氣彈簧隔振器的高度控制閥在調(diào)整臺(tái)座高度時(shí)需將空氣彈簧內(nèi)的部分壓縮空氣,或惰性氣體。排出、排入室內(nèi) 當(dāng)位于廠房的潔凈室內(nèi)時(shí).要求從高度控制閥排出的壓縮氣體的潔凈度不低于潔凈室內(nèi)空氣的潔凈度.如低于該等級(jí).則排出壓縮氣體將對(duì)潔凈室產(chǎn)生污染。潔凈廠房空氣潔凈等級(jí)的規(guī)定在現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)。潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB，50073中做了規(guī)定 8。6,5.本條提出空氣彈簧隔振裝置的適用范圍以及制造商需要提供的資料 高度控制閥的靈敏度由2個(gè)指標(biāo)衡量。即被隔振體由傾斜到調(diào)平的時(shí)間。一般不大于10s,被隔振體調(diào)平的精度一般不大于0.1mm，m。控制柜是具有對(duì)空氣彈簧隔振裝置的運(yùn)行實(shí)施人機(jī)界面的自動(dòng)控制功能的一種控制系統(tǒng) 其主要功能包括、對(duì)空氣彈簧隔振裝置實(shí)施基本操作 如氣壓設(shè)定 穩(wěn)壓快速充氣、自動(dòng)轉(zhuǎn)換.排氣、故障緊急處理等。自動(dòng)監(jiān)測 如對(duì)空氣彈簧內(nèi)壓 臺(tái)座高度，臺(tái)座面水平度.傾斜度等自動(dòng)監(jiān)測、實(shí)時(shí)監(jiān)測隔振系統(tǒng)的微振動(dòng)狀態(tài).振動(dòng)位移.振動(dòng)速度,振動(dòng)加速度等、并作數(shù)據(jù)分析,所有上述數(shù)據(jù)均可用可視化界面表示、實(shí)施數(shù)據(jù)遠(yuǎn)程傳送。控制柜的安裝要求包括進(jìn)出口管道位置,供電要求等 8、6。6。氣源配置需要根據(jù)使用狀況不同來選擇，小型空氣彈簧隔振裝置可使用瓶裝惰性氣體。如氮?dú)?、氦氣?大中型空氣彈簧隔振裝置要由專用氣源供氣 一般采用空壓設(shè)備 不使用氫氣，氧氣等可燃.易燃?xì)怏w作為氣源 8，6 7,本條提出氣浮式隔振系統(tǒng)制造商需要提供的資料.8、6 8.氣源配置需要根據(jù)使用狀況不同來選擇 小型氣浮式隔振系統(tǒng)可使用瓶裝惰性氣體,如氮?dú)?，氦氣等，大中型氣浮式隔振系統(tǒng)需要由專用氣源供氣、一般采用空壓設(shè)備，不使用氫氣,氧氣等可燃，易燃?xì)怏w作為氣源,