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13 11,稀有氣體真空泵13,11。1.稀有氣體真空泵試運轉(zhuǎn)前應(yīng)符合下列要求。1,各潤滑部位加注潤滑劑的規(guī)格和數(shù)量應(yīng)符合設(shè)計技術(shù)文件的規(guī)定、2。泵試運轉(zhuǎn)前應(yīng)盤車靈活.并應(yīng)無阻滯.3、驅(qū)動機的轉(zhuǎn)向應(yīng)與泵的轉(zhuǎn)向相符。4、各指示儀表。安全保護裝置及電控裝置均應(yīng)靈敏,準(zhǔn)確,可靠、檢查數(shù)量,全數(shù)檢查 檢驗方法.觀察檢查.13,11.2 稀有氣體真空泵試運轉(zhuǎn)應(yīng)符合下列要求 1.稀有氣體真空泵連續(xù)試運轉(zhuǎn)時間不應(yīng)少于30min.2,軸承的溫度和溫升應(yīng)符合設(shè)計技術(shù)文件的規(guī)定、3.試運轉(zhuǎn)中應(yīng)無異常的聲響和振動,各連接部位應(yīng)嚴(yán)密無泄漏。4 檢查泵的極限真空度 真空度應(yīng)符合設(shè)計技術(shù)文件的規(guī)定 5、停泵前應(yīng)關(guān)閉吸氣口處閥門。并應(yīng)使泵與真空系統(tǒng)隔絕。6,抽吸氣體中含有較多的可凝性蒸汽時、應(yīng)打開泵的氣鎮(zhèn)閥。檢查數(shù)量、全數(shù)檢查、檢驗方法。觀察檢查.用測溫儀、計時器,真空計測量.
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