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- 電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范 GB 50685-2011
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 純水制備工藝
- 4 純水輸送和分配
- 5 純水回收和節(jié)水
- 5. 1 一般規(guī)定
- 5. 2 純水回收
- 5. 3 節(jié)水措施
- 6 純水站房
- 7 藥品貯存、計量和輸送
- 8 控制及儀表
- 附錄A 水質(zhì)全分析報告
- 附錄B 離子交換器設(shè)計參數(shù)
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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- 電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 50685-2011
.5。2，純水回收、5.2 1.純水回收設(shè)計應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝設(shè)計密切配合.并應(yīng)根據(jù)工程實際情況、回收水質(zhì)，水量、結(jié)合當(dāng)前的技術(shù).經(jīng)濟(jì)條件等合理確定回收率,并宜符合下列要求。1、應(yīng)用于集成電路生產(chǎn)的超純水系統(tǒng)，其純水回收率不宜低于75，2.應(yīng)用于集成電路封裝測試生產(chǎn)線的純水系統(tǒng),其背面減薄廢水和劃片廢水應(yīng)予回收利用。3.應(yīng)用于TFT、LCD生產(chǎn)線的超純水系統(tǒng).其純水回收率不宜低于50、5,2,2。經(jīng)管路系統(tǒng)收集的用后純水應(yīng)連續(xù)檢測其電導(dǎo)率。pH值和TOC、當(dāng)檢測值符合回用要求時。應(yīng)予以回用,不符合回用要求時。應(yīng)將其排放至廢水處理系統(tǒng),5,2，3、回收水處理系統(tǒng)流程的擬定和設(shè)備的選擇.應(yīng)根據(jù)工程的,具體情況 回收水水質(zhì)，水量以及處理后的用途等因素綜合確定、當(dāng)不能取得回收水水質(zhì)資料時.可按已建同類工程經(jīng)驗或經(jīng)科學(xué)實驗后確定,