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，3。純水制備工藝3，1.一般規(guī)定3，1 1 純水制備系統(tǒng)的規(guī)模和供水水質(zhì)直接影響純水系統(tǒng)的投資大小.應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)需要合理確定.關(guān)于電子工業(yè)純水水質(zhì)指標(biāo)、不同電子產(chǎn)品。不同生產(chǎn)工藝和不同廠家都會(huì)提出不同的要求.目前國際比較通用的標(biāo)準(zhǔn)是美國材料試驗(yàn)學(xué)會(huì).ASTM。的標(biāo)準(zhǔn)ASTM D5127，07，見表1。該標(biāo)準(zhǔn)主要是針對(duì)不同線寬的集成電路生產(chǎn)。有較大參考價(jià)值 國內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)只有 電子級(jí)水.GB。T 11446，1 1997、水質(zhì)要求較低、并不直接針對(duì)電子產(chǎn)品.只適用于水質(zhì)要求較低的電子產(chǎn)品.3 1，2。確定純水制備流程和選擇處理設(shè)備是設(shè)計(jì)的關(guān)鍵，影響因素也是多方面的,不應(yīng)該只強(qiáng)調(diào)某一方面。而應(yīng)該各種因素綜合考慮,選擇最佳的方案。3.1,3、條文中強(qiáng)調(diào)簡(jiǎn)捷和有效非常重要,因?yàn)槊總€(gè)處理單元對(duì)于水質(zhì)處理來說除了正面作用外 會(huì)有或多或少的負(fù)面作用、例如離子交換樹脂具有良好的除鹽作用的同時(shí)會(huì)有溶解有機(jī)物和碎顆粒產(chǎn)生、3，1.5，本條強(qiáng)調(diào)全部可利用水源，包括自來水以外的再生水，甚至廢水處理站處理后的水 體現(xiàn)面對(duì)水資源匱乏、設(shè)計(jì)中不能只盯著自來水 而忽略其他水源.掌握可靠的水源水質(zhì)資料是做好純水處理系統(tǒng)設(shè)計(jì)的先決條件、附錄B列出了水質(zhì)分析項(xiàng)目、當(dāng)系統(tǒng)中采用反滲透時(shí)應(yīng)檢測(cè)水中的鍶 鋇等項(xiàng)目，當(dāng)采用再生水時(shí)應(yīng)根據(jù)水質(zhì)特點(diǎn)增加一些針對(duì)性的理化檢測(cè)項(xiàng)目,3，1。6,海水倒灌是沿海地區(qū),例如上海地區(qū),在咸潮期的普遍現(xiàn)象 由于水質(zhì)的變化對(duì)純水處理特別是前級(jí)的預(yù)處理和初級(jí)處理沖擊很大、因此應(yīng)切實(shí)掌握因海水倒灌引起的水質(zhì)變化。采取有效的對(duì)策,見表2。3.1。7,電子工業(yè)純水制備系統(tǒng)的三個(gè)階段的劃分是多年經(jīng)驗(yàn)的科學(xué)總結(jié).電子工業(yè)在電子管的階段對(duì)水質(zhì)要求低,基本的手段為離子交換,基本沒有預(yù)處理和拋光處理、隨著純水水質(zhì)的提高.在脫鹽系統(tǒng)后出現(xiàn)了精處理，拋光,階段,隨著反滲透在系統(tǒng)中的出現(xiàn)，其運(yùn)行關(guān)鍵是保證進(jìn)入反滲透的水質(zhì)。形成了預(yù)處理系統(tǒng)，條文中明確了各個(gè)處理階段的基本要求。見圖1.3,1，8、純水制備系統(tǒng)中保證每個(gè)處理單元進(jìn)水的水質(zhì)非常重要、是長期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。特別是電子工業(yè)純水系統(tǒng)中常用的反滲透和電除鹽。其運(yùn)轉(zhuǎn)的成敗大都在于是否能保證其進(jìn)水水質(zhì)要求.無數(shù)事例證明,反滲透的關(guān)鍵是進(jìn)水的污染指數(shù)。電脫鹽的關(guān)鍵是進(jìn)水的硬度、當(dāng)然表3.2,1中所列的進(jìn)水水質(zhì)指標(biāo)都是重要的 電滲析在電子工業(yè)純水系統(tǒng)中已很少使用 其進(jìn)水指標(biāo)僅供參考,