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。4 2 管道設計、4，2。1,此條文是對純水供。回水管道敷設方式所作的原則性規(guī)定，目前.電子工業(yè)飛速發(fā)展,特別是超大規(guī)模集成電路為代表的半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展 生產(chǎn)工藝對廠房均有潔凈的要求，為了最大限度地減少管道對潔凈室空氣潔凈度的影響,要求管道盡量在潔凈區(qū)外敷設.因此。純水管道無論是在技術夾層，技術夾道，技術豎井內(nèi),還是純水站房內(nèi)的管道。均要求采用架空敷設 同時要做到安全可靠，方便操作和維護，4，2。2.穿管處的密封是保證電子廠房潔凈室空氣潔凈度的重要環(huán)節(jié).本條文主要是防止?jié)崈羰彝馕磧艋諝鉂B入室內(nèi)、潔凈室內(nèi)的潔凈空氣向外滲漏也會造成能量的浪費，甚至影響室內(nèi)的潔凈度.實踐證明采用套管方式是行之有效的，當實在無法做套管的部位也必須采取嚴格的密封措施,主要的密封方法有微孔海綿、有機硅橡膠。橡膠圈及環(huán)氧樹脂冷膠等.4.2,4,電子工業(yè)純水的輸配管道多采用塑料管道 而塑料管材的熱脹系數(shù)較大.是鋼管的十余倍甚至二十倍。塑料管因溫度變化、引起的伸縮量特別大、尤其是熱水管道,因此 必須重視純水輸配管道因溫度變化引起的伸縮變形。純水管路因為純度的考慮。不宜使用金屬波紋管等型式的補償器來克服伸縮變形、所以在管路設計過程中應考慮盡量利用管路自身的柔性來滿足補償要求,4。2，5，在進行純水管路系統(tǒng)的設計過程中。必須綜合考慮管路系統(tǒng)的類型、流量控制原則。管路平衡技術和壓差控制方法、管路系統(tǒng)恒定壓差的實現(xiàn)可以通過同程式以及放大管徑的異程式回水循環(huán)系統(tǒng)等方式來完成，4.2，6、在進行純水管路系統(tǒng)的設計過程中、必須盡量避免死水滯留管路的設計。要求不循環(huán)支管的長度應該盡量短 其長度不得大于3倍管徑、4,2 7,此條文是對純水管路系統(tǒng)循環(huán)供水的具體要求。在進行純水管路系統(tǒng)的設計過程中，需要準確計算生產(chǎn)設備滿負荷運行時的用水量 并結合生產(chǎn)運行的實際情況,以及電子產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展和更新?lián)Q代的速度。同時借鑒歐洲.日本等國家的設計經(jīng)驗和我國的國情，來確定純水循環(huán)附加水量,從而計算純水系統(tǒng)的總供水量。條文要求供水管路和回水管路的最小流速的目的同樣是為了減少純水在管道內(nèi)的停留時間.減少管道材料微量溶出物對純水水質(zhì)的影響，同時避免生物膜在管路系統(tǒng)的生長.保證純水管路系統(tǒng)能長期穩(wěn)定運行,4，2、8、慢開閥在經(jīng)常啟閉的過程中摩擦小,微粒物產(chǎn)生少。是減少管道內(nèi)微粒產(chǎn)生的主要管件 4 2 9 電子工業(yè)純水的特點是水的導電性差、黏度低。流速高.其雷諾數(shù)高、通常大于2,104 因此流量計的選擇必須考慮到這個特殊性 流量計的選擇應該根據(jù)儀表性能、流體特性,安裝條件 環(huán)境條件和經(jīng)濟因素等條件綜合考慮 從性能要求來說,作為過程控制連續(xù)監(jiān)測的儀表一般要求要有良好的可靠性及重復性 精密度。從流體特性來說,由于所輸送的是純水。要求檢測元件盡量與水少接觸,減少不純物質(zhì)的析出和細微顆粒的產(chǎn)生 同時與純水直接接觸的檢測元件要避免滯水區(qū)域的形成、并且能夠耐受管路系統(tǒng)高溫滅菌和化學清洗的要求、超聲波流量計與電磁流量計同為非接觸式儀表 具有檢測件中無阻礙物。壓損小等特點,但是電磁流量計只能用于測量導電性流體的流量 對于電導率低于測量閾值的流體流量時會產(chǎn)生測量誤差。甚至不能測量，超聲波流量計是通過檢測流體流動對超聲束 或超聲脈沖.的作用來測量流量的儀表 自20世紀80年代以來超聲波流量計新品種大量涌現(xiàn).已經(jīng)成為新型流量計的主要品種之一。超聲波流量計可以測非導電性流體,對純水的水質(zhì)無影響且造價基本與管徑大小無關,因此它在純水輸配系統(tǒng)的應用比電磁流量計等其他流量計要廣泛得多。4、2.10，定期清洗是保證管道內(nèi)水質(zhì)的重要手段.主要是防止長期運行后.內(nèi)壁產(chǎn)生沉積物及微生物積聚導致純水水質(zhì)下降.