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3 3，脫鹽及深度處理3 3 1，反滲透用于純水系統(tǒng)最初只是為了降低離子交換裝置的進水含鹽量以減少再生劑的耗量,但隨著純水水質(zhì)對TOC，微粒、細菌,二氧化硅等指標的要求不斷提高，反滲透的作用從脫鹽擴大為對幾乎超純水各項指標都起到良好的去除效應.成為電子工業(yè)純水系統(tǒng)不可缺少的單元處理裝置 3，3,2 反滲透一般根據(jù)水量設計為并聯(lián)的若干個獨立的單元 獨立單元包括自保安過濾,高壓泵。反滲透組件及相應的管道系統(tǒng)和自控系統(tǒng)、反滲透需要定期停機清洗或更換膜元件，因此為保證連續(xù)供水一般不宜少于2套，當供水量較小且可以間歇運行或反滲透后的水箱足以供應清洗。更換期間的水量時.可以設置一套.反滲透膜運行初期透水量較大要求的運行壓力較小 隨著運行時間延長.膜被壓實,膜面被污染透水量逐漸減小 運行壓力升高，一般高壓泵的揚程是按膜運行末期運行壓力設計的 因此高壓泵宜采用變頻控制,以保持流量的恒定,反滲透出水的背壓應根據(jù)膜制造商提供的數(shù)據(jù)確定,一般不超過0、1MPa，當反滲透停運時須將濃水區(qū)內(nèi)滯留高含鹽量的濃水沖出,防止沉積在膜面,故需設置停運沖洗保護措施 3。3。3,離子交換脫鹽技術歷史悠久,尤其是常用的固定床更是比較成熟、電子工業(yè)純水系統(tǒng)初期的以離子交換為主要工藝、隨著膜分離技術的發(fā)展其在系統(tǒng)中的比重逐漸縮小,近來除了混合床使用頻率仍很高以外 為了提高反滲透水的回收率 有的系統(tǒng)在預處理階段采用離子交換、取得了較好的效果，使反滲透水的回收率提高到90.以上 出水水質(zhì)也有明顯的提高.因此在當前的電子工業(yè)純水系統(tǒng)中仍然不能忽視離子交換的作用,規(guī)范中專門列出了離子交換的有關條文、3，3.5、電脫鹽裝置長期運行的關鍵是控制進水的硬度，一般采用兩級反滲透或軟化,一級反滲透來保證