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,4,純水輸送和分配4。1、一般規(guī)定4。1 2 4,1 3 此兩條是為了保證生產(chǎn)工藝所要求水質(zhì)的技術(shù)措施.隨著生產(chǎn)技術(shù)的進(jìn)步。工藝設(shè)備對純水水質(zhì)的要求不斷提高、尤其是電子行業(yè)中集成電路生產(chǎn)和液晶顯示器的制造,不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格 而且對細(xì)菌。微粒,有機(jī)物以及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求。為了保證生產(chǎn)設(shè)備使用點水質(zhì)的要求。除了要有嚴(yán)格的純水制造過程外 純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計也是關(guān)鍵,實踐證明采用循環(huán)供水方式是行之有效的.主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū) 以減少純水在管道內(nèi)的停留時間、減小管道材料微量溶出物,即使目前質(zhì)量最好的管道也會有微量溶出物.對超純水水質(zhì)的影響.同時、基于流水不腐的道理,高的流速還可以防止細(xì)菌微生物的滋生.在純水管材的選擇方面.主要應(yīng)考慮三方面的因素 材料的化學(xué)穩(wěn)定性、純水是一種極好的溶劑、為了保證在輸送過程中純水水質(zhì)下降最小,必須選擇化學(xué)穩(wěn)定性極好的管材,也就是在所要求的純水中的溶出物最小,溶出物的多少應(yīng)由材料的溶出試驗確定,其中包括金屬離子,有機(jī)物的溶出等 管道內(nèi)壁的光潔度,若管道內(nèi)壁有微小的凹凸 會造成微粒的沉積和微生物的繁殖.導(dǎo)致微粒和細(xì)菌兩項指標(biāo)的不合格 目前PVDF管道內(nèi)壁粗糙度可達(dá)小于1μm。而不銹鋼管約為幾十μm 管道及管件的接頭處的平整度、對于防止產(chǎn)生流水的渦流區(qū)是非常重要的.4、1。5,此條文是為了確保純水輸配系統(tǒng)長期穩(wěn)定.安全運行的主要措施,純水輸配系統(tǒng)中采用的管道.管件.閥門.粘接劑等都有各自標(biāo)定的壓力等級.相應(yīng)的連接方式,匹配的粘接劑。以及各自的試壓條件.4。1,6.此條文是對熱純水加熱方式所提出的原則性規(guī)定。隨著電子工業(yè)的發(fā)展,尤其是以超大規(guī)模集成電路為代表的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展.生產(chǎn)工藝不僅對純水的水質(zhì)提出了更高的要求.同時,某些生產(chǎn)環(huán)節(jié)還對純水的溫度也提出了要求。而且對純水溫度的要求還不完全相同,這就要求設(shè)計人員根據(jù)熱純水的用水量和用水點的分布 并結(jié)合技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較選擇集中加熱或使用點就地加熱的方式
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