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.4.純水輸送和分配4 1,一般規(guī)定4 1,2,4、1。3 此兩條是為了保證生產(chǎn)工藝所要求水質(zhì)的技術(shù)措施。隨著生產(chǎn)技術(shù)的進(jìn)步,工藝設(shè)備對(duì)純水水質(zhì)的要求不斷提高,尤其是電子行業(yè)中集成電路生產(chǎn)和液晶顯示器的制造.不但對(duì)水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格.而且對(duì)細(xì)菌、微粒,有機(jī)物以及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求。為了保證生產(chǎn)設(shè)備使用點(diǎn)水質(zhì)的要求、除了要有嚴(yán)格的純水制造過程外,純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)也是關(guān)鍵,實(shí)踐證明采用循環(huán)供水方式是行之有效的 主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū),以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間 減小管道材料微量溶出物,即使目前質(zhì)量最好的管道也會(huì)有微量溶出物、對(duì)超純水水質(zhì)的影響。同時(shí)?;诹魉桓牡览怼8叩牧魉龠€可以防止細(xì)菌微生物的滋生 在純水管材的選擇方面、主要應(yīng)考慮三方面的因素、材料的化學(xué)穩(wěn)定性。純水是一種極好的溶劑,為了保證在輸送過程中純水水質(zhì)下降最小,必須選擇化學(xué)穩(wěn)定性極好的管材、也就是在所要求的純水中的溶出物最小。溶出物的多少應(yīng)由材料的溶出試驗(yàn)確定。其中包括金屬離子 有機(jī)物的溶出等。管道內(nèi)壁的光潔度.若管道內(nèi)壁有微小的凹凸。會(huì)造成微粒的沉積和微生物的繁殖,導(dǎo)致微粒和細(xì)菌兩項(xiàng)指標(biāo)的不合格,目前PVDF管道內(nèi)壁粗糙度可達(dá)小于1μm 而不銹鋼管約為幾十μm.管道及管件的接頭處的平整度,對(duì)于防止產(chǎn)生流水的渦流區(qū)是非常重要的。4,1 5、此條文是為了確保純水輸配系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定,安全運(yùn)行的主要措施 純水輸配系統(tǒng)中采用的管道,管件.閥門、粘接劑等都有各自標(biāo)定的壓力等級(jí)。相應(yīng)的連接方式,匹配的粘接劑、以及各自的試壓條件。4 1,6,此條文是對(duì)熱純水加熱方式所提出的原則性規(guī)定,隨著電子工業(yè)的發(fā)展,尤其是以超大規(guī)模集成電路為代表的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展.生產(chǎn)工藝不僅對(duì)純水的水質(zhì)提出了更高的要求,同時(shí),某些生產(chǎn)環(huán)節(jié)還對(duì)純水的溫度也提出了要求,而且對(duì)純水溫度的要求還不完全相同、這就要求設(shè)計(jì)人員根據(jù)熱純水的用水量和用水點(diǎn)的分布.并結(jié)合技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較選擇集中加熱或使用點(diǎn)就地加熱的方式
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