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- 電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50685-2011
- 條文說(shuō)明
- 1 總 則
- 3 純水制備工藝
- 3. 1 一般規(guī)定
- 3. 2 預(yù) 處 理
- 3. 3 脫鹽及深度處理
- 3. 4 精 處 理
- 3. 5 特殊水質(zhì)指標(biāo)的技術(shù)措施
- 3. 6 水箱、水泵
- 4 純水輸送和分配
- 5 純水回收和節(jié)水
- 6 純水站房
- 7 藥品貯存、計(jì)量和輸送
- 8 控制及儀表
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3 4、精，處，理 3 4，3，拋光混床處于精處理階段最后部位.后面只有微濾或超濾。是達(dá)到純水電阻率和微量電解質(zhì)指標(biāo)要求的最后一道關(guān)口、要求拋光混床既最終去除微量電解質(zhì)又不能產(chǎn)生新的微污染物 它又是與循環(huán)純水供水管路保證使用點(diǎn)水質(zhì)要求的關(guān)鍵一環(huán) 因此作了幾款規(guī)定,精處理系統(tǒng)普遍稱(chēng)為，拋光 是電子工業(yè)純水的特色之一，它依據(jù) 流水不腐。的理念把精處理，拋光。和純水供水管網(wǎng)組成不可分割的一體。最終保證工藝使用點(diǎn)的純水要求。