1.總,則.1,0,1、本條闡述了編制本規(guī)范的目的和進行工程建設應遵守的基本原則、純水的制備始于20世紀40年代.伴隨著離子交換樹脂的商業(yè)化生產(chǎn)而發(fā)展起來。傳統(tǒng)的純水以電導率為表征,主要關注于去除水中的電解質(zhì),隨著集成電路工業(yè) 液晶顯示器.太陽能產(chǎn)業(yè)和LED的迅猛發(fā)展,帶動了純水等支持系統(tǒng)的飛速發(fā)展。與傳統(tǒng)的純水相比、當代電子工業(yè)純水不僅關注去除水中的溶解電解質(zhì).還關注于去除水中的有機物。溶解氧 細菌以及微小顆粒等雜質(zhì)。特別是隨著集成電路的集成度的不斷提升.生產(chǎn)的工藝步驟越來越多 元件被重復清洗 對作為清洗介質(zhì)的純水的要求越來越高。如果純水品質(zhì)達不到要求,其本身對器件就是一種污染。更談不上清洗 本規(guī)范的制定 旨在為電子工業(yè)純水系統(tǒng)的設計工作提供較為系統(tǒng)的技術依據(jù) 推動電子工業(yè)純水系統(tǒng)設計工作的發(fā)展 1,0,2、電子工業(yè)純水系統(tǒng)的設計必須遵守工程建設的基本原則,技術先進,是要求純水系統(tǒng)設計科學.采用的制水工藝和設備先進,高效、成熟、安全適用.是要求純水系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,滿足生產(chǎn)需求 經(jīng)濟合理。則是要在保證安全可靠.技術先進的前提下 節(jié)省工程投資費用和日常運行維護成本。操作方便.是要滿足日常操作運行,檢修維護的便利和快捷的需求,1,0.3、電子工業(yè)的集成電路工廠和TFT,LCD工廠等都是用水大戶,同時這類工廠在生產(chǎn)過程中使用大量的化學品。其在為社會創(chuàng)造價值的同時.也必然耗費大量的水資源,并且?guī)韽U物排放的問題。隨著人們對工業(yè)的發(fā)展所帶來污染影響的越發(fā)重視,純水系統(tǒng)的設計如何節(jié)水和如何減少污染物排放是當今電子工業(yè)純水系統(tǒng)設計和建設所必須要面對的問題。如何減少化學品的使用和如何提高水的利用率是系統(tǒng)設計必須要解決的問題 未來的電子工業(yè)純水系統(tǒng)肯定是化學品使用盡可能少 系統(tǒng)回收率盡可能高的系統(tǒng)、減少資源占用。環(huán)境友好的,綠色 的純水系統(tǒng)是必然的發(fā)展趨勢,