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- 電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50685-2011
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 純水制備工藝
- 3. 1 一般規(guī)定
- 3. 2 預(yù) 處 理
- 3. 3 脫鹽及深度處理
- 3. 4 精 處 理
- 3. 5 特殊水質(zhì)指標(biāo)的技術(shù)措施
- 3. 6 水箱、水泵
- 4 純水輸送和分配
- 5 純水回收和節(jié)水
- 6 純水站房
- 7 藥品貯存、計(jì)量和輸送
- 8 控制及儀表
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,3.5 特殊水質(zhì)指標(biāo)的技術(shù)措施3,5 1。3，5 2，純水水質(zhì)指標(biāo)有對(duì)微粒、總有機(jī)碳，細(xì)菌,溶解氧和二氧化硅等非電解質(zhì)或弱電解質(zhì)要求是電子工業(yè)純水的獨(dú)有的突出特點(diǎn)、它不同于只有脫鹽要求的純水系統(tǒng)，是一個(gè)嚴(yán)密的系統(tǒng)工程。某個(gè)處理單元對(duì)于去除某種物質(zhì)有特殊的效果、但有可能產(chǎn)生新的污染物，降低了另外的水質(zhì)指標(biāo)、例如離子交換單元降低了電解質(zhì)的含量.會(huì)增加溶解有機(jī)物和微粒.最終的膜過濾單元降低了水中的微粒 但有可能產(chǎn)生新的微量電解質(zhì)降低水的電阻率等，水箱 水泵和管道閥門的反作用更是顯而易見的，因此要求設(shè)計(jì)中準(zhǔn)確把握處理過程中各項(xiàng)水質(zhì)參數(shù)的變化.避免或減少處理單元的反作用效應(yīng).采用低TOC析出的離子交換樹脂主要是在拋光混床內(nèi)采用特殊加工的樹脂。例如DOW的MR,3UPW均粒拋光樹脂 R、H的UP6040拋光樹脂等、