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2、術(shù)語(yǔ).縮略語(yǔ)2、1,術(shù) 語(yǔ)2、0.1。潔凈廠房,industrial cleanroom 對(duì)用于產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室與相關(guān)受控環(huán)境以及為其服務(wù)的動(dòng)力公用設(shè)施的總稱(chēng).2 0。2，潔凈度等級(jí).classification、潔凈室。區(qū),內(nèi)懸浮粒子潔凈度的水平.給出規(guī)定粒徑粒子的最大允許濃度。用每立方米空氣中的粒子數(shù)量表示 2 0.3、漏風(fēng)量.air,system.leakage。ratio。風(fēng)管系統(tǒng)中。在某一靜壓下通過(guò)風(fēng)管,附件及其接口 在單位時(shí)間內(nèi)泄漏或滲入的空氣體積量 2 0.4 漏光檢測(cè)。air。leak cheek.with。lighting,采用強(qiáng)光源對(duì)風(fēng)管的咬口，接縫，法蘭及其連接處進(jìn)行透光檢查、確定孔洞，縫隙等滲漏部位及數(shù)量的方法、2 0，5.特種氣體,special、gas、指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用的硅烷。磷烷 乙硼烷.砷烷,四氯化硅。氯氣等具有可燃，有毒.腐蝕或窒息等特性的氣體,2,0、6、化學(xué)品、chemical、指產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用的酸 堿，有機(jī)溶劑、有機(jī)物質(zhì)和氧化物等.2.0,7。配管 piping 潔凈廠房中、用以輸送，分配工藝用水。純水,各類(lèi)氣體,化學(xué)品等的管路系統(tǒng)的管子，附件.管件、法蘭、螺栓連接件,墊片，閥門(mén)和其他組成件的組裝總成,2、0 8,射線照相檢驗(yàn)、radiographic examination、對(duì)指定的一批配管的全部環(huán)向?qū)雍缚p所做的全圓周射線檢驗(yàn)和對(duì)縱焊縫所做的全長(zhǎng)度射線檢驗(yàn)。