2、術(shù)語 縮略語2,1,術(shù)、語2,0,1、潔凈廠房,industrial、cleanroom。對用于產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室與相關(guān)受控環(huán)境以及為其服務的動力公用設施的總稱。2。0.2,潔凈度等級。classification,潔凈室,區(qū).內(nèi)懸浮粒子潔凈度的水平.給出規(guī)定粒徑粒子的最大允許濃度。用每立方米空氣中的粒子數(shù)量表示。2 0、3,漏風量。air,system leakage ratio。風管系統(tǒng)中.在某一靜壓下通過風管.附件及其接口.在單位時間內(nèi)泄漏或滲入的空氣體積量,2。0、4、漏光檢測 air。leak,cheek,with lighting.采用強光源對風管的咬口、接縫、法蘭及其連接處進行透光檢查,確定孔洞??p隙等滲漏部位及數(shù)量的方法。2。0、5。特種氣體,special。gas 指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的硅烷 磷烷,乙硼烷,砷烷、四氯化硅,氯氣等具有可燃,有毒。腐蝕或窒息等特性的氣體.2 0 6?;瘜W品.chemical.指產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的酸、堿。有機溶劑,有機物質(zhì)和氧化物等,2,0。7。配管,piping。潔凈廠房中.用以輸送,分配工藝用水 純水.各類氣體,化學品等的管路系統(tǒng)的管子、附件.管件,法蘭 螺栓連接件,墊片,閥門和其他組成件的組裝總成.2.0、8、射線照相檢驗 radiographic examination、對指定的一批配管的全部環(huán)向?qū)雍缚p所做的全圓周射線檢驗和對縱焊縫所做的全長度射線檢驗。