6 工藝設(shè)計(jì)要求6,1,般要求6。1.1,物料準(zhǔn)備區(qū),裝配區(qū)。測試與調(diào)試區(qū)、封蓋區(qū) 環(huán)境試驗(yàn)區(qū)、分析區(qū).檢驗(yàn)包裝區(qū)內(nèi)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)。電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范、GB。50472的有關(guān)規(guī)定.6、1。2,生產(chǎn)廠房防靜電設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn).電子工程防靜電設(shè)計(jì)規(guī)范,GB.50611和 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB。50073的有關(guān)規(guī)定.6。1、3.防靜電工作區(qū)域工作臺(tái).貨架等宜采用間接靜電接地 設(shè)備.儀器宜采用直接靜電接地。6、1、4 生產(chǎn)車間空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)具體產(chǎn)品確定.封蓋前的微波集成組件應(yīng)在潔凈度等級(jí)8級(jí)或優(yōu)于8級(jí)的潔凈環(huán)境中裝配,6.1.5 生產(chǎn)車間中潔凈區(qū)溫度宜為23、3,相對(duì)濕度宜為40.70 6、1,6.生產(chǎn)車間供電配電應(yīng)滿足配置設(shè)備要求,6 1,7、生產(chǎn)所需氣體應(yīng)包括氧氣.氮?dú)?氦氣。氬氣。壓縮空氣,氮?dú)浠旌蠚獾?并應(yīng)符合下列規(guī)定,1 壓縮空氣壓力宜為0,6MPa。0.7MPa,露點(diǎn)在0,7MPa時(shí)宜低于。40。2.高純氮?dú)鈮毫σ藶? 4MPa,0,7MPa、氣體純度宜為99.999、3.純氮壓力宜為0.4MPa,0。7MPa 氣體純度宜為99.99.4、高純氦氣壓力宜為0。4MPa.0,7MPa。氣體純度宜為99,999、5,高純氧氣壓力宜為0.4MPa、0 7MPa,氣體純度宜為99.999,6.高純氬氣壓力宜為0,4MPa。0,7MPa、氣體純度宜為99,999,7、高純氮?dú)浠旌蠚怏w氣,N295 H25.壓力宜為0,4MPa、0 7MPa.氣體純度宜為99,999 6、1,8,高純氣體用氣點(diǎn)前應(yīng)設(shè)高效氣體過濾器,6,1,9 工藝真空度宜優(yōu)于0 08MPa。6.1,10,生產(chǎn)所需水路宜包括給排水.純水和工藝?yán)鋮s水,工藝?yán)鋮s水宜采用循環(huán)系統(tǒng)、6 1,11,純水的水質(zhì).水量 水壓應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝所需、6。1,12,工藝?yán)鋮s水應(yīng)使用軟化水,使用端壓力宜為0。2MPa、0.3MPa,6。1、13、生產(chǎn)過程中發(fā)熱量,發(fā)塵量大的生產(chǎn)工藝應(yīng)采取防擴(kuò)散措施 6。1.14。生產(chǎn)車間應(yīng)配置壓差測試儀,溫濕度記錄儀.空氣微塵顆粒記錄儀等檢測設(shè)備,