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7。3、氣。體7 3,2,條文中規(guī)定風(fēng)冷式空氣壓縮機(jī)設(shè)置熱排風(fēng)管道.這是為了防止熱空氣發(fā)生短路現(xiàn)象,導(dǎo)致設(shè)備因?yàn)槔鋮s不當(dāng)而停機(jī)、7,3,3,工程實(shí)踐表明 干燥壓縮空氣輸送露點(diǎn)低于,40,時(shí) 管道采用不銹鋼無縫鋼管.閥門采用球閥是合適的、7、3 4,由于微波集成組件工廠大宗氣體用量相對(duì)較小,采用外購液態(tài)氣儲(chǔ)罐或瓶裝氣體方式供氣可以滿足生產(chǎn)需求。這也是目前微波集成組件工廠普遍采用的大宗氣體供氣方式,7.3、5,氣體純化裝置是保證氣體品質(zhì)的重要設(shè)備.氣體氣源參數(shù)和使用參數(shù)是確定純化裝置的重要數(shù)據(jù),終端純化器靠近工藝設(shè)備是為了保證氣體的品質(zhì) 7。3.6。大宗氣體管道和閥門的選擇與工藝對(duì)氣體品質(zhì)的要求關(guān)聯(lián)度較大 因此規(guī)定根據(jù)氣體的純度確定管道材料和閥門類型、可燃?xì)怏w管道盡量采用波紋管閥、7,3.7,工藝真空系統(tǒng)管道材料根據(jù)工藝真空系統(tǒng)壓力選用,7.3。9.常用的工藝真空管道材料為鍍鋅鋼管或厚壁聚氯乙烯管道、
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