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- 微波集成組件生產(chǎn)工廠工藝設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn) GB 51385-2019
- 條文說明
- 3 總體設(shè)計(jì)
- 4 廠房設(shè)計(jì)
- 5 工藝布局
- 6 工藝設(shè)計(jì)要求
- 6.1 —般要求
- 6.2 設(shè)備配置
- 6.3 工藝要求
- 7 公用工程
- 8 電氣、照明與通信
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6 工藝設(shè)計(jì)要求6 1.般要求6,1 2，靜電防護(hù)系統(tǒng)是廠房基本工藝條件配置,微波集成組件對于靜電放電比其他工廠更為敏感、微小的靜電放電電壓都可能對組件中的ESD敏感器件造成損傷,當(dāng)組件內(nèi)管芯靜電敏感等級為0級，靜電敏感電壓 250V 工作區(qū)的防靜電等級要達(dá)到一級 雖然金屬腔 薄膜 厚膜電路的清洗可不考慮靜電防護(hù)，但為產(chǎn)品安全,清洗區(qū)要考慮靜電防護(hù).同樣、金屬腔。薄膜.厚膜電路的準(zhǔn)備和齊套可不考慮靜電防護(hù)，但為產(chǎn)品安全、物料準(zhǔn)備區(qū)要考慮靜電防護(hù),6,1.5,生產(chǎn)車間的非潔凈區(qū)一般無濕度的具體要求 溫度一般要求是10，30。