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6.3，工藝要求6,3，1。物料準備區(qū)應符合下列規(guī)定，1.物料準備區(qū)宜分為潔凈區(qū)和非潔凈區(qū).潔凈區(qū)的潔凈度等級應為8級或優(yōu)于8級,2、物料準備區(qū)應保證工藝輔料 耗材和元器件的真空。干燥。氮氣保護等存儲條件要求，3、物料準備區(qū)宜包括物料檢測工作臺.齊套準備工作臺等 4 放置充氮柜空間應配置設備電源接口 氮氣 壓縮空氣接口以及防靜電接地接口、放置除濕柜空間應配置設備電源接口。壓縮空氣接口以及防靜電接地接口，5，放置自動貨架空間應配置設備電源接口 壓縮空氣接口。6、放置真空包裝塑封機空間應配置電源接口.真空泵及電源接口或真空管道接口，6 3,2、清洗區(qū)工藝應符合下列規(guī)定 1，清洗區(qū)宜分為潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)、潔凈區(qū)級別應為8級或優(yōu)于8級，2。電路基片和組裝前零部件應在潔凈區(qū)清洗,機加零件,釬焊接頭后的腔體等零部件可在非潔凈區(qū)清洗、3、清洗用水槽應配備自來水。純水、臺面應承受一定重量并且耐酸堿 耐老化,耐高溫.4.清洗區(qū)排風系統(tǒng)應位于清洗機上方，排風量宜預留適當余量 5 清洗區(qū)應根據(jù)產(chǎn)量和清洗物料品種設置純水水槽和噴淋槽、6,排液系統(tǒng)管道應防酸堿腐蝕和耐有機溶劑浸泡,7。清洗廢液應集中處理。8，清洗機旁應配置洗眼器等安全防護設施,9、等離子清洗機應配置氬氣，氧氣 氮氣等高純氣體接口.6,3,3。裝配區(qū)應符合下列規(guī)定.1,裝配區(qū)宜分為潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)。潔凈區(qū)級別宜為7級、2、在工作區(qū)整體照明系統(tǒng)基礎上，使用顯微鏡的粘接，共晶工位宜設置局部照明 3 裝配顯微鏡放大倍數(shù)宜為10倍。40倍,檢驗顯微鏡放大倍數(shù)宜為10倍，100倍.4，釬焊和電裝工序宜布置在非潔凈區(qū)域，應配備煙霧凈化過濾系統(tǒng)，5、各種焊接爐，焊接機器人宜配備高純氮氣接口.并宜根據(jù)需要配置壓縮空氣，冷卻液和排風口等,6,精密返修系統(tǒng)應配備壓縮空氣接口、7、自動送料機。螺釘自動鎖緊設備等應配備壓縮空氣接口，8。點膠設備應配備壓縮空氣接口，9.手動,半自動,自動共晶機宜使用高純氮氣或氮氫混合氣、使用氮氫混合氣應設置工藝排風,10，真空共晶機宜使用高純氮氣。若使用甲酸,氮氫混合氣應有尾氣處理裝置。11、烘箱和固化爐宜選擇溫度.時間可程序控制的型號.烘箱應配置排風系統(tǒng).12、手動。半自動和自動貼片機應配備壓縮空氣接口、真空接口,13 金絲、硅鋁絲.粗鋁絲鍵合機及金帶鍵合機應配備壓縮空氣接口，宜配備真空接口和氮氣接口,14。倒裝焊接機應配備真空接口。高純氮氣接口，宜配備壓縮空氣接口、15,底部填充設備應配備壓縮空氣接口.16，芯片疊層工序用劃片機應配備真空接口.壓縮空氣接口.17，拉力剪切力測試儀應配備真空接口,壓縮空氣接口 6。3、4。測試與調(diào)試區(qū)應符合下列規(guī)定，1。測試與調(diào)試區(qū)宜分為潔凈區(qū)和非潔凈區(qū),潔凈區(qū)級別宜為7級。2。有芯片的微波集成組件封蓋前測試,調(diào)試應在潔凈區(qū)進行,3、調(diào)試區(qū)宜在微波測試調(diào)試區(qū)中設定相對獨立區(qū)域,當調(diào)試區(qū)無單獨指標調(diào)整工位時、宜在裝配區(qū)明確相應的粘接，電裝、鍵合工位 4.芯片組裝前篩選測試。可在試驗區(qū)搭建芯片探針臺測試.6、3,5，封蓋區(qū)工藝設計應符合下列規(guī)定 1、封蓋區(qū)宜分為潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)。潔凈區(qū)級別宜為7級，2。封焊設備主體部分應置于潔凈區(qū).封焊設備輔助部分可置于非潔凈區(qū)域.3、激光封焊,平行縫焊等設備宜配置手套箱和氮氣干燥裝置。4，手套箱內(nèi)應設置監(jiān)控內(nèi)部氣氛的裝置、6.3，6.涂覆區(qū)應符合下列規(guī)定、1.涂覆區(qū)環(huán)境溫度宜為10.30。不應超過涂料允許的操作溫度范圍,2,操作環(huán)境有害物濃度應符合現(xiàn)行國家職業(yè)衛(wèi)生標準,工業(yè)企業(yè)設計衛(wèi)生標準，的有關規(guī)定，3 噴涂柜或水幕通風柜風口風速宜為0、6m s.0,8m。s、4，干燥箱、隧道爐、烘房等烘干設備應有自動控溫功能 并應設置排氣，6,3 7、環(huán)境試驗區(qū)應符合下列規(guī)定.1、環(huán)境試驗區(qū)宜為非潔凈區(qū)，2 環(huán)境試驗區(qū)應配置基本環(huán)境試驗設備及微波集成組件測試儀器.3.振動試驗應單獨形成一個區(qū)域,并應遠離其他生產(chǎn)區(qū)、4。環(huán)境抽樣試驗可使用專用測試臺或測試工作站。6 3、8 分析區(qū)潔凈度等級宜為8級，