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- 有色金屬工業(yè)環(huán)境保護(hù)工程設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50988-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 基本規(guī)定
- 4 大氣污染防治
- 5 水污染防治
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 采礦與選礦
- 5.3 重有色金屬冶煉
- 5.4 輕金屬冶煉
- 5.5 半導(dǎo)體材料制備
- 5.6 稀有金屬及產(chǎn)品制備
- 5.7 有色金屬加工
- 5.8 有色金屬再生
- 6 固體廢物污染防治
- 7 噪聲污染防治
- 8 環(huán)境監(jiān)測(cè)
- 附錄A 初步設(shè)計(jì)文件環(huán)境保護(hù)篇主要內(nèi)容及深度要求
- 附錄B 有色金屬工業(yè)環(huán)境保護(hù)設(shè)施劃分
- 附錄C 構(gòu)筑物及場(chǎng)地防滲要求
- 附錄D 有色金屬企業(yè)環(huán)境監(jiān)測(cè)站
- 本規(guī)范用詞說(shuō)明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說(shuō)明
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5、5，半導(dǎo)體材料制備5.5 1、硅.鍺材料制備的生產(chǎn)廢水處理應(yīng)符合下列要求,1。制備多晶硅的生產(chǎn)廢水應(yīng)中和處理后回用或達(dá)標(biāo)排放。2,硅片加工過(guò)程產(chǎn)生的漿料應(yīng)回收利用 3 制備氯化鍺產(chǎn)生的蒸餾殘液，水解母液以及廢氣淋洗液,應(yīng)中和處理，4 單晶硅、單晶鍺酸洗產(chǎn)生的酸性廢氣淋洗液應(yīng)中和處理，5 產(chǎn)品檢測(cè)產(chǎn)生的含鉻廢液必須單獨(dú)收集或回用、不能返回工藝或作其他利用的含鉻廢液中的總鉻及六價(jià)鉻、必須達(dá)標(biāo)后再送全廠污水處理站進(jìn)一步處理 5、5。2。制備砷化鎵產(chǎn)生的含砷廢水,液.必須單獨(dú)收集，且應(yīng)首先回收砷,不能回收時(shí)應(yīng)將三價(jià)砷轉(zhuǎn)變?yōu)槲鍍r(jià)砷再進(jìn)一步進(jìn)行脫砷凈化處理.