"大量文字復(fù)制"等功能僅限VIP會員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進(jìn)行復(fù)制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復(fù)制等特權(quán)
- 有色金屬工業(yè)環(huán)境保護(hù)工程設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50988-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 大氣污染防治
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 采礦與選礦
- 4.3 重有色金屬冶煉
- 4.4 輕金屬冶煉
- 4.5 半導(dǎo)體材料制備
- 4.6 稀有金屬及產(chǎn)品制備
- 4.7 有色金屬加工
- 4.8 有色金屬再生
- 5 水污染防治
- 6 固體廢物污染防治
- 7 噪聲污染防治
- 8 環(huán)境監(jiān)測
熱門資源
更多>
- 民用建筑設(shè)計(jì)統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 50352-2019
- 建筑廢棄物再生工廠設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 51322-2018
- 托兒所、幼兒園建筑設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明]（2019年版） JGJ 39-2016（2019年版）
- 辦公建筑設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] JGJ/T 67-2019
- 鍋爐房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 50041-2020
- 民用建筑工程室內(nèi)環(huán)境污染控制標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 50325-2020
- 綜合醫(yī)院建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)（征求意見稿） 2018年
- 既有建筑維護(hù)與改造通用規(guī)范[附條文說明] GB 55022-2021
- 建設(shè)工程工程量清單計(jì)價(jià)規(guī)范[附條文說明] GB 50500-2013
- 建筑防火封堵應(yīng)用技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB/T 51410-2020
4 5、半導(dǎo)體材料制備4，5。1 本條對硅,鍺材料制備廢氣治理作出要求,3，高純?nèi)葰涔柽€原尾氣中。主要含有氫氣、氯化氫和氯硅烷.還原尾氣干法回收技術(shù)是利用還原尾氣中各種組分物理性能，露點(diǎn)，沸點(diǎn)、上的差異 通過加壓冷凝,吸收,脫吸、活性炭吸附等物理手段.把尾氣中的氫氣.氯化氫、三氯氫硅.二氯二氫硅、四氯化硅逐一分開,分別返回主工藝中，四氯化硅通過氯化轉(zhuǎn)變成的三氯氫硅 也返回系統(tǒng)使用.由于還原尾氣干法回收系統(tǒng)完全密閉 不外排尾氣，分離回收的上述副產(chǎn)物全部返回工藝系統(tǒng)使用,從而達(dá)到了回收副產(chǎn)物，變廢為用的目的。本規(guī)范推薦采用還原尾氣干法回收技術(shù)，5，硅粉倉，鍺精礦倉進(jìn),出料產(chǎn)生的粉塵.應(yīng)設(shè)計(jì)高效布袋除塵器凈化、回收的塵粉即硅粉，鍺精礦粉.應(yīng)返回原料制備車間。6。氧化鍺制備過程產(chǎn)生的尾氣中含有氯化氫，氯氣.應(yīng)設(shè)計(jì)氫氧化鈉堿液一級淋洗凈化，還原鍺錠。區(qū)熔鍺錠腐蝕過程產(chǎn)生含氟化氫。氮氧化物的廢氣.應(yīng)設(shè)計(jì)氫氧化鈉堿液兩級淋洗，才能使氟化物，氮氧化物達(dá)標(biāo)排放、7。單晶硅。單晶鍺酸洗過程產(chǎn)生含氟化氫 氮氧化物的廢氣 也應(yīng)設(shè)置堿液淋洗裝置凈化。4 5，2 合成砷化鎵時發(fā)生石英管爆裂的概率很低 持續(xù)時間也很短，最長5min。這種事故發(fā)生的時間一般在合成爐升溫的前30min和降溫的后30min 由于爐內(nèi)溫度高于400,砷會迅速揮發(fā)產(chǎn)生三氧化二砷劇毒氣體，因此必須設(shè)置事故排放的含砷廢氣處理設(shè)施，妥善處理事故排放的含砷廢氣 三氧化二砷氣體是劇毒氣體,因此將本條設(shè)為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行