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- 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設計規(guī)范 GB 51136-2015
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 基本工序
- 4.3 工藝區(qū)劃
- 4.4 設備配置
- 5 廠址選擇及總體規(guī)劃
- 6 建 筑
- 7 結 構
- 8 氣體動力
- 9 供暖、通風、空氣調節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防 靜 電
- 13 化 學 品
- 14 空間管理
- 附錄A 薄膜晶體管液晶顯示器生產工藝流程
- 附錄B 微振動標準VC曲線
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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4 4.設備配置4,4 1,生產設備和輔助設備的選擇應符合現(xiàn)行國家標準、電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范，GB、50472的有關規(guī)定.且宜采用自動化程度高,耗能低、排放少的設備，4、4,2，陣列,彩膜和成盒工序應采用玻璃基板卡匣或其他專用工裝搬運產品。批量生產線宜采用全自動物料搬送系統(tǒng).生產區(qū)采取多層布置方式時,跨層生產區(qū)之間的產品搬運宜設置自動垂直運輸設備。4、4 3?；瘜W氣相沉積和物理氣相沉積設備安裝區(qū)域應配置潔凈室專用的檢修起重設備