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4.3，工藝區(qū)劃4,3、1。本條規(guī)定了核心生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)工藝區(qū)劃的原則。1,隨著薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展，玻璃基板的尺寸越來越大、生產(chǎn)線的經(jīng)濟規(guī)模也有增加。因此核心生產(chǎn)區(qū)域的面積也越來越大，以產(chǎn)能為60K。大片.月的6代線為例 其陣列工序段的核心生產(chǎn)區(qū)域的面積已達35000m2,而8 5代線則更是達到了75000m2.而且近年來產(chǎn)業(yè)集成度的提高.也使得高世代薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)線多采取陣列 彩膜、成盒及模組4個工藝段集成在一個廠區(qū)的建設(shè)方案 這更是加大了薄膜晶體管液晶顯示器工廠的面積需求 在如此大的面積需求下、如果仍采取單層平鋪的方式布置、無論從節(jié)約用地 還是平面運輸距離的角度考慮都是不太適宜的。而且從近年來國內(nèi)多個項目的工程實踐來看 疊層布置的方式在防微震設(shè)計等技術(shù)方面是可行的 2、薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)設(shè)備對生產(chǎn)環(huán)境要求很高.但其中某些設(shè)備自身也會產(chǎn)生諸如振動，電磁輻射 熱輻射和空氣懸浮粒子污染等不利的影響 常見的設(shè)備及其不利影響包括、Stocker。Stocker是薄膜晶體管液晶顯示器行業(yè)專用術(shù)語 是一種自動化立體倉庫 中堆垛機、Crane 產(chǎn)生的振動,化學(xué)氣相沉積機，CVD 產(chǎn)生的熱輻射和其高頻電源產(chǎn)生的射頻輻射 濕法刻蝕機產(chǎn)生的酸性氣體等.因此在確定工藝區(qū)劃時 應(yīng)盡量避免此類設(shè)備對敏感設(shè)備.如光刻,特別是曝光機,的不利影響，3,薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)中的產(chǎn)品基本采用專用的搬運器具和設(shè)備進行搬運，搬運器具的體積和搬運批量較大、批量生產(chǎn)時，而薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)區(qū)的人流則具有人員多、特定時間段人流密度大、如交接班期間.的特點.將人員和物料入。出 口分別設(shè)置可以避免人 物流混雜交錯帶來的安全事故隱患，提高生產(chǎn)效率,同時減少對生產(chǎn)區(qū)內(nèi)潔凈環(huán)境的不利影響、由于人身凈化流程的需要,生產(chǎn)區(qū)人員出、入口一般為合并設(shè)置.除應(yīng)急疏散出口外。物料的出 入口則根據(jù)生產(chǎn)線布置的整體物流路徑一般采取分散設(shè)置的方式、對于使用原材料種類較多的模組工藝段。還可以根據(jù)生產(chǎn)線布置在所需不同原材料的特定位置附近設(shè)置多個原材料入口 4 薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)線設(shè)備眾多.絕大部分設(shè)備精密度高 價格昂貴，對搬運過程中的安全和振動控制等要求很高,另外 工藝設(shè)備安裝通常在潔凈室施工基本完成。且投入正常運行后方可進行、因此在工藝區(qū)劃和設(shè)備布置時應(yīng)規(guī)劃出空間足夠的設(shè)備搬入通道以及連接廠房內(nèi)，外的設(shè)備搬入口,由于薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)線 特別是陣列和彩色濾光片工藝段.所用潔凈室常采用上.下技術(shù)夾層空調(diào)凈化方式,核心生產(chǎn)區(qū)工作平面.設(shè)備安裝平面，大大高于室外地坪。此時設(shè)備搬入口即成為設(shè)備吊裝入口 為方便吊裝.需要在設(shè)備搬入口設(shè)置吊裝搬入平臺，在近年的薄膜晶體管液晶顯示器工廠建設(shè)工程實踐經(jīng)驗中、吊裝搬入平臺基本分為移動式 臨時性,和固定式、永久性。兩種。移動式平臺通常由設(shè)備搬入專業(yè)公司提供并安裝 在工程設(shè)計中需考慮提供適當(dāng)?shù)氖彝饣A(chǔ)、在設(shè)備搬入完成后即予以拆除，固定式則作為生產(chǎn)廠房的附屬部分在工程設(shè)計中統(tǒng)一考慮并設(shè)計施工完成。在設(shè)備搬入完成后可永久保留以便供今后設(shè)備搬入。移出，時使用。固定式吊裝搬入平臺也可分為落地式和外挑式2種。吊裝搬入平臺形式的選擇一般需根據(jù)建設(shè)單位和設(shè)備搬入專業(yè)公司的使用要求.搬入技術(shù)條件。場地條件等因素綜合確定.5，薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)工藝步驟多、流程長.具有多重工序加工循環(huán)。重入的特點，當(dāng)采用工序集中布置時，同一類型的工藝設(shè)備相對集中地布置在同一區(qū)域內(nèi) 有利于生產(chǎn)調(diào)度和設(shè)備負荷調(diào)整.易于現(xiàn)場操作和設(shè)備調(diào)整，而且由于區(qū)域內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境要求基本一致,動力供應(yīng)和各類排放的品種 性質(zhì)相近,負荷集中。更易于進行環(huán)境的控制和調(diào)整,有利于管道布置,對于節(jié)能降耗也有很大幫助,從行業(yè)實踐的經(jīng)驗看、薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)的核心區(qū)基本采取了工序集中布置的方式。以陣列段為例,核心生產(chǎn)區(qū)通常分為薄膜區(qū)，光刻區(qū)。濕法刻蝕區(qū),干法刻蝕區(qū)和測試檢測區(qū)等、分別將化學(xué)氣相沉積機,濺射機.CVD，Sputter,涂膠、曝光，顯影，濕法刻蝕機，干法刻蝕機.缺陷檢查機等集中布置在上述區(qū)域。從而便于集中設(shè)置所需的生產(chǎn)環(huán)境和動力供應(yīng)設(shè)施、如黃光照明、不同等級的潔凈空調(diào)和廢水排水設(shè)施等,同時也可以很大程度地避免化學(xué)氣相沉積機 濺射機。濕法刻蝕機等所產(chǎn)生的空氣污染和設(shè)備發(fā)熱對光刻與檢測工藝，設(shè)備，的不利影響,4。3、2,薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)線有強烈的高技術(shù)特點 出于企業(yè)宣傳.職工培訓(xùn)。接待客戶或政府主管部門考察等各種需要,在生產(chǎn)區(qū)邊緣設(shè)置一定的與生產(chǎn)區(qū)隔離的參觀設(shè)施是適宜的。這樣既可以避免生產(chǎn)線外人員對生產(chǎn)環(huán)境和生產(chǎn)秩序的干擾。也可以更好地展示企業(yè)形象和高科技生產(chǎn)的特點，參觀設(shè)施的設(shè)置方式和位置則宜結(jié)合具體生產(chǎn)線布置形式和整體人流設(shè)計方案確定 4.3、3，薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)。特別是高世代生產(chǎn)線,物料消耗量大，對連續(xù)生產(chǎn)的要求高、在廠區(qū),或廠房，內(nèi)設(shè)置相應(yīng)的庫房是完全必要的,1,薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)中所用原,輔材料種類繁多、其中既有火災(zāi)危險性很低的戊類物品，如玻璃基板等 也包含有強烈腐蝕或火災(zāi)，爆炸，危險的化學(xué)危險品,如磷酸,丙酮等.還有一些原材料是需要低溫或干燥保存的、如光刻膠等.因此除應(yīng)根據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)。建筑設(shè)計防火規(guī)范,GB，50016的有關(guān)規(guī)定合理劃分不同火災(zāi)危險性的倉庫類型外.還應(yīng)根據(jù)物料的物理化學(xué)特性。存儲環(huán)境要求等適當(dāng)分類設(shè)置 薄膜晶體管液晶顯示器工藝生產(chǎn)中使用的原,輔材料 特別是化學(xué)品.種類眾多。不同的建設(shè)單位選擇的工藝技術(shù)路線不同 其所使用的原，輔材料也不相同,且常常隨著產(chǎn)品和工藝技術(shù)的發(fā)展出現(xiàn)更新和變化.在確定主要原，輔材料的安全特性時.設(shè)計人員應(yīng)以有關(guān)化學(xué)品供應(yīng)商提供的化學(xué)品安全技術(shù)說明書,SDS.為設(shè)計依據(jù).2，薄膜晶體管液晶顯示器面板生產(chǎn)所需的大部分物料包裝單元尺寸大,重量重,且物品價值高,廠外運輸多采用大型貨運汽車運輸.廠內(nèi)裝卸勞動量大，為提高裝卸效率，保障裝卸作業(yè)安全、站臺的設(shè)置是必要的 4、3。4。當(dāng)核心生產(chǎn)區(qū)設(shè)有技術(shù)夾層時、該區(qū)域通常布置有主生產(chǎn)設(shè)備的附屬和支持設(shè)備。如真空泵 特種氣體柜，有毒廢氣處理裝置。光刻膠回收裝置等 另外，技術(shù)夾層通常安裝有大量動力供應(yīng)管線。閥門和控制裝置等、因此為上述設(shè)備和管線 裝置等留出一定的檢修空間和搬運通道是十分必要的，