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8。3。特種氣體供應(yīng)8,3.1。特種氣體供應(yīng)應(yīng)采用外購鋼瓶氣體 液態(tài)氣體.在工廠內(nèi)應(yīng)設(shè)置儲存 分配系統(tǒng)。8.3.2,特種氣體供應(yīng)儲存分配系統(tǒng)設(shè)備應(yīng)根據(jù)特種氣體的性質(zhì)和儲存數(shù)量布置在獨立的建，構(gòu),筑物內(nèi)或生產(chǎn)廠房的專用房間內(nèi)、8、3、3.布置在獨立的建.構(gòu) 筑物內(nèi)或區(qū)域的特種氣體設(shè)備的火災(zāi)危險性的確定應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，建筑設(shè)計防火規(guī)范，GB.50016的有關(guān)規(guī)定,8 3,4.布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的自燃，可燃特種氣體設(shè)備分配間的火災(zāi)危險性應(yīng)按甲類確定，8，3。5、新建工廠的大宗硅烷站應(yīng)布置在獨立建筑物或構(gòu)筑物內(nèi),改，擴建項目的大宗硅烷站可與工廠其他氣體供應(yīng)站房布置在同一棟建筑物內(nèi)，并應(yīng)用防爆墻與其他氣體供應(yīng)間隔開,8 3.6 特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜。氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范,GB,50646的有關(guān)規(guī)定,8,3,7。可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)符合下列規(guī)定,1、硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次 h。且氣瓶柜的負壓應(yīng)連續(xù)監(jiān)控、2,自燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外。紅外火焰探測器及自動滅火系統(tǒng)。3、可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置自動滅火系統(tǒng).4,自燃.可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。8，3,8.特種氣體系統(tǒng)吹掃氮氣的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定 1。特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣應(yīng)與獨立的氮氣源連接、并不得與公用氮氣或工藝氮氣系統(tǒng)相連 2 不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣不得共用同一氮氣源、3.吹掃氮氣管線應(yīng)設(shè)置止回閥、8。3.9。特種氣體排氣與廢氣處理的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定，1。特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮氣稀釋與連續(xù)吹掃裝置。防止空氣倒流造成污染和腐蝕.2 不相容性特種氣體的排氣不得接入同一排氣主管 3、自燃，可燃.毒性.腐蝕性特種氣體的排氣應(yīng)經(jīng)過尾氣處理裝置進行處理,確保達到國家規(guī)定的允許排放標(biāo)準(zhǔn).8.3 10。生產(chǎn)廠房內(nèi)的可燃和毒性特種氣體管道應(yīng)明敷.穿過生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫 套管與管道之間應(yīng)采用密封措施 可燃、毒性 腐蝕性氣體管道的機械連接處應(yīng)置于排風(fēng)罩內(nèi)，8.3。11、特種氣體和吹掃氣體的管道和管件應(yīng)采用奧氏體超低碳不銹鋼無縫鋼管。內(nèi)表面應(yīng)進行潔凈和鈍化處理,8，3。12,可燃,氧化性特種氣體管道應(yīng)設(shè)置靜電泄導(dǎo)的接地設(shè)施,8。3 13 室外布置的特種氣體管道應(yīng)架空布置 8，3,14,具有自燃、劇毒性，強腐蝕性的特種氣體宜采用雙套管設(shè)計 內(nèi)管走工藝氣體，套管間可采用封閉或開放形式,