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- 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 51136-2015
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 5 廠址選擇及總體規(guī)劃
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 8 氣體動(dòng)力
- 8.1 冷、熱 源
- 8.2 大宗氣體供應(yīng)
- 8.3 特種氣體供應(yīng)
- 8.4 壓縮空氣供應(yīng)
- 8.5 工藝真空和清掃真空
- 9 供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防 靜 電
- 13 化 學(xué) 品
- 14 空間管理
- 附錄A 薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)工藝流程
- 附錄B 微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)VC曲線
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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- 無障礙設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 50763-2012
- 辦公建筑設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] JGJ/T 67-2019
- 住宅設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 50096-2011
- 住宅項(xiàng)目規(guī)范（征求意見稿） GB 55XXX-2022
8.5。工藝真空和清掃真空8 5，1。工藝真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定。1。工藝真空系統(tǒng)的抽氣能力應(yīng)按生產(chǎn)工藝所需實(shí)際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定 2 供氣設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的一個(gè)或多個(gè)供氣站內(nèi).3，工藝真空設(shè)備應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備,4.工藝真空設(shè)備應(yīng)根據(jù)工藝系統(tǒng)的實(shí)際情況選用水環(huán)式或干式真空泵 5.工藝真空系統(tǒng)宜設(shè)置真空壓力過低保護(hù)裝置、8，5。2.工藝真空系統(tǒng)的管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定。1，工藝真空管路設(shè)計(jì)應(yīng)布置成支狀系統(tǒng).2，工藝真空主管道的直徑應(yīng)按全系統(tǒng)實(shí)際抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì).主支管道的直徑應(yīng)按照局部系統(tǒng)實(shí)際抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì),支管道的直徑應(yīng)按設(shè)備最大抽氣量進(jìn)行設(shè)計(jì)、3.工藝真空系統(tǒng)的管道材料宜根據(jù)工藝真空系統(tǒng)的真空壓力及真空特性選用不銹鋼管或厚壁聚氯乙烯管道、4.采用軟管連接時(shí),應(yīng)選用金屬軟管、8。5、3.潔凈室 區(qū).宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)、潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道宜暗敷