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9。供暖,通風??諝庹{(diào)節(jié)與凈化9,1。一般規(guī)定9.1.5,潔凈室,區(qū)、與周圍的環(huán)境應保持一定的靜壓差,這是為了確保潔凈室.區(qū).的正常工作狀態(tài)或空氣平衡暫時受到破壞時、空氣流只能從空氣潔凈度等級高的房間。區(qū)域,流向空氣潔凈度等級低的房間,區(qū)域,使?jié)崈羰?、區(qū)、內(nèi)的空氣潔凈度不會受到污染空氣的干擾。本條第1款考慮到有些薄膜晶體管液晶顯示器工廠的潔凈室雖然潔凈度等級不同,但潔凈室的上,下夾層相通。此時要嚴格做到不同潔凈度等級的潔凈室,區(qū).間的壓差不小于5Pa有較大難度,且也沒有必要,所以條文中規(guī)定不同等級的潔凈室。區(qū)。之間的靜壓差宜大于或等于5Pa、但應嚴格保證氣流是從空氣潔凈度等級高的房間、區(qū)域、流向空氣潔凈度等級低的房間、區(qū)域 9。1,6。薄膜晶體管液晶顯示器工廠陣列.彩膜,成盒生產(chǎn)工序?qū)ξ⒄裼袊栏竦囊蟆Mǔ閂C C和VC,B,所以對于管徑大于或等于125mm的水管和當量直徑大于或等于600mm的風管不宜布置在核心生產(chǎn)區(qū),當這種情況不可避免時、應根據(jù)微振要求,管道尺寸,安裝方式,管內(nèi)介質(zhì)流速等因素采取相應的減振措施
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