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6 2。防火及安全疏散6、2,1、薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈廠房具有如下主要特點(diǎn).1,生產(chǎn)過(guò)程中需使用易燃,易爆的氣體,化學(xué)品等、它們對(duì)潔凈廠房構(gòu)成潛在的火災(zāi)威脅 2 潔凈廠房的面積大.體積大。并且常常是平面布置,空間布置曲折。增加了疏散路線上的障礙 可能延長(zhǎng)安全疏散的時(shí)間,3,潔凈廠房?jī)?nèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程需應(yīng)用各種類型的精密 貴重的設(shè)備.儀器.建設(shè)投資巨大 一旦失火.將會(huì)造成極大的損失 鑒于以上主要特點(diǎn).為了保障財(cái)產(chǎn)、人身的安全,嚴(yán)格控制廠房建筑耐火等級(jí)是十分重要的.6,2、2、在現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范、GB,50472中 已對(duì)以下各工作間生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性作了明確規(guī)定.1,薄膜晶體管液晶顯示器工廠廠房中,有使用丁酮.丙酮,異丙醇等易燃化學(xué)品的潔凈室 這些化學(xué)品均為易燃化學(xué)品,應(yīng)屬甲類,因此將電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)有這些化學(xué)品的儲(chǔ)存間、分配間列為甲類,2,潔凈廠房中 常常使用H2,SiH4 AsH3.PH3等可燃。有毒氣體.因此將設(shè)有可燃、有毒氣體的儲(chǔ)存 分配間列為甲類,3,薄膜晶體管液晶顯示器工廠的CVD間,在設(shè)備密閉性良好。并設(shè)有氣體或可燃蒸氣報(bào)警裝置和滅火裝置時(shí)。應(yīng)按丙類設(shè)防 否則仍應(yīng)按甲類設(shè)防.4、薄膜晶體管液晶顯示器工廠的顯影,刻蝕間 模組裝配間。彩膜生產(chǎn)間應(yīng)按丙類設(shè)防。6 2、3,陣列.成盒 彩膜 模組廠房具有大面積.大體量的特點(diǎn),如第八代薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈室面積已達(dá)90000m2、這類潔凈廠房通常由潔凈生產(chǎn)區(qū)和潔凈生產(chǎn)區(qū)各自設(shè)有的上,下技術(shù)夾層構(gòu)成.廠房高度約為30m 40m、由于制造的生產(chǎn)工藝設(shè)備體量大.制造過(guò)程的連續(xù)性和自動(dòng)化傳輸、所以生產(chǎn)工藝區(qū)是不能分隔的。在潔凈廠房?jī)?nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中設(shè)置高靈敏度早期報(bào)警火災(zāi)探測(cè)器及其報(bào)警系統(tǒng)、Very,Early,Smoke,Detection Apparatus 簡(jiǎn)稱VESDA,或稱空氣采樣式煙霧探測(cè)系統(tǒng).Air.Sampling Type、Smoke、Detection System,可以主動(dòng)抽取環(huán)境中空氣,只要空氣中有煙霧,就能及時(shí)報(bào)警,并在火災(zāi)形成前數(shù)小時(shí)實(shí)現(xiàn)早期報(bào)警、本條規(guī)定的靈敏度是傳統(tǒng)探測(cè)器的數(shù)百倍,做到早期發(fā)現(xiàn),將火源消滅在初始狀態(tài),關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備。主要是使用易引發(fā)火情的設(shè)備應(yīng)設(shè)有火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置、6,2,4,本條第3款,陣列。成盒、彩膜。模組廠房具有大面積,大體量的特點(diǎn)、如第八代薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈室面積已達(dá)90000m2,建筑高度達(dá)36,3m 其廠房?jī)?nèi)任一點(diǎn)到最近安全出口的距離達(dá)80m 120m,這類潔凈廠房?jī)?nèi)使用可燃。易燃?xì)怏w的關(guān)鍵設(shè)備均設(shè)有火災(zāi)報(bào)警,氣體報(bào)警和CO2滅火裝置,這類廠房如前所述均設(shè)有高靈敏度早期煙霧探測(cè)系統(tǒng)、且此類廠房由于生產(chǎn)工藝設(shè)備體積大.連續(xù)性生產(chǎn),自動(dòng)化傳輸?shù)纫蛩?致使要實(shí)現(xiàn)廠房?jī)?nèi)任一點(diǎn)到安全出口的距離符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范、GB.50016的規(guī)定十分困難.此類廠房中操作人員較少,人員密度極低,且人員流動(dòng)巡查,因此本款規(guī)定 陣列,成盒、彩膜。模組廠房.在關(guān)鍵工藝設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0、01,obs m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后.安全疏散距離不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1、5倍、當(dāng)潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0、02人,m2時(shí),安全疏散距離不得大于120m,本條第4款.陣列,成盒,彩膜,模組廠房具有生產(chǎn)工藝設(shè)備體積大,連續(xù)性生產(chǎn)。自動(dòng)化傳輸?shù)忍攸c(diǎn),潔凈室內(nèi)操作人員較少,人員密度極低。技術(shù)支持區(qū)內(nèi)主要為人員流動(dòng)巡查.因此當(dāng)潔凈室與技術(shù)支持區(qū)位于不同的防火分區(qū)時(shí)。可通過(guò)設(shè)置共用前室或安全通道共用疏散出口、6。2,5、由于潔凈廠房空間密閉.且設(shè)有人員凈化。物料凈化設(shè)施、一旦出現(xiàn)火情、消防人員進(jìn)入潔凈室的路徑較困難.為此本條規(guī)定靠外墻潔凈室,區(qū)。各層外墻應(yīng)設(shè)供消防人員通往潔凈室,區(qū),的入口。6,2。6 在薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)中,因?yàn)樯a(chǎn)部件尺寸較大,需要通過(guò)物料自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)傳遞、穿過(guò)不同生產(chǎn)樓層的自動(dòng)化垂直搬運(yùn)系統(tǒng)在物料進(jìn)、出口處.因?yàn)檫B續(xù)傳輸無(wú)法采用防火卷簾等方式封閉,故按本規(guī)范第10。6。6條的規(guī)定設(shè)置水幕系統(tǒng)進(jìn)行保護(hù),6 2,7,薄膜晶體管液晶顯示器工廠生產(chǎn)使用所需要的低壓.低沸點(diǎn)特種氣體。由于輸送過(guò)程中極易液化,無(wú)法采用長(zhǎng)距離管道輸送、不可避免地會(huì)設(shè)在廠房?jī)?nèi)。如高純氣體純化間 有可燃?xì)怏w的氣體入口室 特種氣體儲(chǔ)存分配間.可燃化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間等,對(duì)于有爆炸危險(xiǎn)的易燃,易爆化學(xué)品及氣體的配送間在設(shè)置足夠的泄壓面積后,可大大減輕爆炸時(shí)的破壞強(qiáng)度.避免因主體結(jié)構(gòu)遭受破壞而造成重大人員傷亡和經(jīng)濟(jì)損失 在現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn).建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范。GB。50016中明確規(guī)定、有爆炸危險(xiǎn)的甲 乙類生產(chǎn)部位、宜布置在單層廠房外墻的泄壓設(shè)施或多層廠房頂層靠外墻的泄壓設(shè)施附近,
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