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- 薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 51136-2015
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 基本工序
- 4.3 工藝區(qū)劃
- 4.4 設(shè)備配置
- 5 廠址選擇及總體規(guī)劃
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 8 氣體動(dòng)力
- 9 供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防 靜 電
- 13 化 學(xué) 品
- 14 空間管理
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4、4 設(shè)備配置4 4,1、本條是對(duì)薄膜晶體管液晶顯示器生產(chǎn)設(shè)備和輔助設(shè)備配置的原則性要求.工藝生產(chǎn)設(shè)備及其設(shè)備的選擇除應(yīng)滿足加工工藝參數(shù)的要求外。應(yīng)配備有必要的安全保護(hù)裝置,還應(yīng)采取措施防止本設(shè)備加工過程中產(chǎn)生的粉塵.蒸發(fā)氣體。振動(dòng) 電磁輻射等對(duì)潔凈室環(huán)境、其他加工設(shè)備以及產(chǎn)品質(zhì)量的不利影響 另外.鼓勵(lì)建設(shè)單位在條件允許時(shí)選擇自動(dòng)化程度更高.能源和原材料消耗更省,排放 廢氣。廢水、更少的設(shè)備 4.4,2,陣列,彩膜和成盒工序段主要的加工對(duì)象為玻璃基板.玻璃基板尺寸大而薄.極易破碎,且對(duì)表面的污染控制要求很高 采用專用工裝進(jìn)行搬運(yùn)顯然是必要的.而對(duì)于批量生產(chǎn)線 由于搬運(yùn)量大。生產(chǎn)連續(xù)性要求高 更適宜采用全自動(dòng)物料搬送系統(tǒng),如采用人工搬運(yùn)小車進(jìn)行搬運(yùn),易造成搬運(yùn)錯(cuò)誤或不及時(shí),并造成因潔凈室內(nèi)人員頻繁走動(dòng)引起的空氣污染問題.從而影響產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率等,出于同樣的原因,跨層之間的產(chǎn)品垂直運(yùn)輸適宜采用自動(dòng)化垂直運(yùn)輸設(shè)備.盡可能不采用 潔凈，貨運(yùn)電梯的方式 4 4、3,化學(xué)氣相沉積機(jī)和濺射機(jī)等需定期進(jìn)行腔體維修和靶材更換等，該設(shè)備及附近區(qū)域應(yīng)配置必要的吊裝起重設(shè)備、吊裝起重設(shè)備的設(shè)置除應(yīng)滿足服務(wù)區(qū)域。起吊高度和使用負(fù)荷要求外.還應(yīng)滿足表面光潔、易清潔,不發(fā)塵 不揮發(fā)泄漏等潔凈要求、