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14,空間管理14.1。一般規(guī)定14.1,1 空間管理設計應符合下列規(guī)定.1,工藝設備平面布置 運行 維修及主要配管應滿足最小安全距離及占用標高。2。一般給水排水 純水、工藝冷卻循環(huán)水,廢水處理。消防等設備外形尺寸。平面布置，運行、維修及主要配管應滿足最小安全距離及占用標高 3。潔凈,采暖,送風。排風 冷凍水等設備的外形尺寸。平面布置,運行 維修及主要配管應滿足最小安全距離及占用標高。4 冷、熱源。大宗氣體供應 壓縮空氣站，真空泵房,特種氣體站房內設備的外形尺寸,平面布置、運行、維修 安裝及主要配管應滿足最小安全距離及占用標高。5,化學品供應及回收設備外形尺寸,平面布置。運行 維修及主要配管應滿足最小安全距離及占用標高。6.電氣設備,照明燈具等設備的平面布置和電纜橋架。母線槽等配管應滿足最小安全距離及占用標高,14，1、2，潔凈生產(chǎn)層凈高應按工藝設備和物料運輸設備尺寸，微環(huán)境裝置及潔凈氣流控制等因素確定，陣列、彩膜,成盒區(qū)域不宜低于4m，模組區(qū)域不宜低于3m,14.1 3、下技術夾層凈高應按照工藝輔助設備尺寸及其搬入高度.管線布置 潔凈氣流控制等因素確定,不宜低于4m,14 1，4，上技術夾層凈高應按照空調設備、管線布置 潔凈氣流控制等因素確定，不宜低于3m.