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9、供暖 通風(fēng),空氣調(diào)節(jié)與凈化9,1，一般規(guī)定9,1,5、潔凈室。區(qū)。與周?chē)沫h(huán)境應(yīng)保持一定的靜壓差,這是為了確保潔凈室，區(qū)、的正常工作狀態(tài)或空氣平衡暫時(shí)受到破壞時(shí)?？諝饬髦荒軓目諝鉂崈舳鹊燃?jí)高的房間,區(qū)域,流向空氣潔凈度等級(jí)低的房間，區(qū)域.使?jié)崈羰?區(qū)、內(nèi)的空氣潔凈度不會(huì)受到污染空氣的干擾,本條第1款考慮到有些薄膜晶體管液晶顯示器工廠的潔凈室雖然潔凈度等級(jí)不同.但潔凈室的上,下夾層相通。此時(shí)要嚴(yán)格做到不同潔凈度等級(jí)的潔凈室.區(qū)。間的壓差不小于5Pa有較大難度,且也沒(méi)有必要.所以條文中規(guī)定不同等級(jí)的潔凈室，區(qū),之間的靜壓差宜大于或等于5Pa.但應(yīng)嚴(yán)格保證氣流是從空氣潔凈度等級(jí)高的房間 區(qū)域,流向空氣潔凈度等級(jí)低的房間 區(qū)域,9,1.6。薄膜晶體管液晶顯示器工廠陣列,彩膜，成盒生產(chǎn)工序?qū)ξ⒄裼袊?yán)格的要求.通常為VC。C和VC.B,所以對(duì)于管徑大于或等于125mm的水管和當(dāng)量直徑大于或等于600mm的風(fēng)管不宜布置在核心生產(chǎn)區(qū).當(dāng)這種情況不可避免時(shí) 應(yīng)根據(jù)微振要求、管道尺寸，安裝方式、管內(nèi)介質(zhì)流速等因素采取相應(yīng)的減振措施、