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9 3、空氣調(diào)節(jié)與凈化9、3 1。本條對新風處理機組的設(shè)置作了規(guī)定,1。本款規(guī)定是為了很好地控制潔凈室內(nèi)的正壓值.同時也為了節(jié)能,2、本款規(guī)定目的是使室外含塵空氣在送入潔凈室前得以徹底過濾.從而延長潔凈室頂部風機過濾機組。FFU.內(nèi)過濾器的使用壽命.3 本款規(guī)定是為了提高新風處理系統(tǒng)的可靠性，確保潔凈室內(nèi)的正壓值和潔凈度，4,本款規(guī)定是為了滿足工藝設(shè)備的防微振要求、一般功率大于7,5kW的風機 電機與風機應(yīng)采用直接驅(qū)動形式,6,考慮到薄膜晶體管液晶顯示器工廠一般建在工業(yè)區(qū)，區(qū)內(nèi)存在不少向大氣中排放有害氣體的工廠.薄膜晶體管液晶顯示器工廠本身就是一個污染物的排放源.而恰恰薄膜晶體管液晶顯示器工廠的有些生產(chǎn)工序?qū)@些有害氣體比較敏感,車間內(nèi)濃度超過一定限值后會影響產(chǎn)品質(zhì)量 采用淋水室加濕方式在加濕的同時?？梢詫@些有害氣體達到去除的作用，可謂一舉兩得.而規(guī)定采用溫水淋水室，主要是為了降低加濕前的空氣溫度,使加熱器的熱水供水溫度得以降低、這樣薄膜晶體管液晶顯示器工廠大量的低位余熱能得以利用 達到最大程度的節(jié)能。9、3，2 本條規(guī)定是建議陣列.彩膜，成盒廠房的潔凈室采用新風處理機組 風機過濾器機組,干冷卻盤管的凈化空調(diào)系統(tǒng) 模組和背光源廠房的潔凈室采用新風處理機組。循環(huán)空氣處理機組、高效過濾器送風口的凈化空調(diào)系統(tǒng).這樣規(guī)定主要考慮了潔凈室的形式 綜合造價 綜合能耗 系統(tǒng)可靠性，空間管理,運行維護管理等因素.9 3、3、通過CFD、計算流體動力學(xué)，氣流模擬顯示。當潔凈室回風方向?qū)挾瘸^80m時、雖然采用雙側(cè)回風 如不采取其他措施。潔凈室內(nèi)的氣流偏斜非常嚴重。個別地方甚至出現(xiàn)渦流、另外。通過CFD氣流模擬結(jié)果顯示。在多種改善氣流偏斜的措施中,在寬度方向布置不同阻力的回風高架地板是相對簡單、有效的辦法.9.3.4,本條對干冷卻盤管的設(shè)置作了規(guī)定,1。2.主要是考慮到FFU的機外余壓有限以及降低能源消耗,3,主要考慮到氣流以及房間溫度的控制,4,主要是考慮房間相對濕度是由新風機組保證的 干冷卻盤管不承擔去濕功能,而且為了潔凈室的維護以及相對濕度的控制。干冷卻盤管不應(yīng)有去濕功能 干冷卻盤管的供水溫度應(yīng)通過計算確定。通常宜高于潔凈室 區(qū).內(nèi)的露點溫度、5。干冷卻盤管在正常運行時雖無冷凝水析出,但考慮到潔凈室在高濕環(huán)境下啟動和干冷卻盤管,管路系統(tǒng)意外滲漏以及干冷卻盤管及水系統(tǒng)需要檢修而排水等因素.最好還應(yīng)設(shè)置積水盤及排水系統(tǒng)，9,3。5.薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈室由于面積巨大,所以FFU數(shù)量很多、為了方便調(diào)節(jié)和節(jié)省能耗。宜采用直流調(diào)速電機并配置相應(yīng)的控制系統(tǒng)、使操作人員在控制室內(nèi)很容易對每臺FFU實現(xiàn)單獨控制,薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈室有些區(qū)域FFU布置率較高、為滿足潔凈室內(nèi)的噪聲要求 FFU應(yīng)采取消音措施。為保證潔凈度以及FFU內(nèi)高效，超高效。過濾器的使用壽命，消音裝置不得采用發(fā)塵材料 聚四氟乙烯濾料的過濾器具有氣體釋放量小，抗腐蝕。濾紙強度大等優(yōu)點、但由于它是表面過濾的機理、所以容塵量相對較小.當房間潔凈度低于6級時?；仫L空氣中含塵量相對較大，過濾器達到容塵量上限的時間相對縮短、所以規(guī)定潔凈度等級低于6級的潔凈室不宜采用聚四氟乙烯濾料的過濾器、9，3,6 本條規(guī)定主要考慮了能耗、FFU所能提供的機外余壓，上、下技術(shù)夾層壓力分布.氣流均勻性，噪聲 空間合理利用等因素。9 3 7.本條對空調(diào)冷，熱源和水系統(tǒng)的設(shè)置作了規(guī)定。1 主要是考慮節(jié)能，因為冷凍水溫提高1,制冷機組的COP值提高3,左右,所以薄膜晶體管液晶顯示器的一般空調(diào)系統(tǒng)和凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)最大限度地使用中溫冷凍水 另外.從兩種冷源提供的時效考慮 低溫冷凍水主要用于處理新風以保證室內(nèi)的相對濕度，供水溫度通常為5.7，提供的是季節(jié)冷源 中溫冷凍水主要用于處理潔凈室內(nèi)的循環(huán)風，為保證干冷卻，供水溫度通常為12 14,常年提供、而薄膜晶體管液晶顯示器工廠的一般空調(diào)系統(tǒng)和凈化空調(diào)系統(tǒng)與工藝生產(chǎn)有關(guān).工藝設(shè)備常年有發(fā)熱負荷 且生產(chǎn)車間幾乎多在內(nèi)區(qū)、需要常年供給冷凍水.所以從這個角度考慮，也應(yīng)該采用中溫冷凍水 薄膜晶體管液晶顯示器工廠潔凈室面積很大.相應(yīng)干冷卻盤管水系統(tǒng)也很大 如不采用同程式冷凍水系統(tǒng)。安裝在水系統(tǒng)中的遠端和近端干冷卻盤管的資用壓力相差很大、水系統(tǒng)很難平衡和調(diào)節(jié)，3 本款規(guī)定主要是考慮減少供水干管的散冷量.降低供水干管遠端的溫升,使遠端的干冷卻盤管的熱交換能力不受影響 4 本款規(guī)定主要是考慮防微振的要求，防止水管系統(tǒng)的振動直接傳遞到建筑物結(jié)構(gòu)系統(tǒng)中而影響工藝生產(chǎn) 5。本款規(guī)定主要是考慮避免因空調(diào)水系統(tǒng)發(fā)生意外的漏水而影響電力系統(tǒng)的正常工作,甚至發(fā)生事故。9.3 9、根據(jù)現(xiàn)行國家標準,電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范，GB。50472的有關(guān)規(guī)定 單向流和混合流潔凈室 區(qū)。的噪聲級,空態(tài) 不應(yīng)大于65dB。A。非單向流潔凈室。區(qū)、的噪聲級.空態(tài)、不應(yīng)大于60dB.A，但考慮到目前大部分薄膜晶體管液晶顯示器工廠的潔凈室采用新風處理機組.風機過濾器機組,干冷卻盤管的凈化空調(diào)系統(tǒng) 且使用的風機過濾器機組,FFU。規(guī)格大部分為1200 1200 按照現(xiàn)行行業(yè)標準，風機過濾器機組.JG,T 388的有關(guān)規(guī)定.1200、1200的單機噪聲 標準型，小于或等于57dB,A,根據(jù)國內(nèi)幾個工廠潔凈室噪聲的實測數(shù)據(jù),當潔凈室FFU采用滿布時.潔凈室內(nèi)FFU的疊加噪聲一般為FFU的單機噪聲加13dB A、左右、所以本規(guī)范將該類潔凈室的噪聲適當放寬,