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8,3。特種氣體供應(yīng)8，3、1，從目前薄膜晶體管液晶顯示器工廠特種氣體使用的具體情況看,特種氣體多采用外購鋼瓶氣體，液態(tài)氣體.在工廠內(nèi)設(shè)置儲存，分配系統(tǒng)、8 3.2，8。3 3。根據(jù)現(xiàn)行國家標準 建筑設(shè)計防火規(guī)范、GB，50016的規(guī)定，特種氣體儲存分配系統(tǒng)設(shè)備應(yīng)根據(jù)特種氣體的性質(zhì)和儲存數(shù)量布置在獨立的建 構(gòu)。筑物內(nèi)或生產(chǎn)廠房的專用房間內(nèi)，8 3,4，根據(jù)自燃、可燃特種氣體的性質(zhì)，布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體設(shè)備分配間的火災(zāi)危險性應(yīng)按甲類確定 8、3.5,根據(jù)硅烷的物理化學(xué)性質(zhì)、硅烷在空氣中的燃燒范圍為1,37.96,空氣中硅烷濃度在1、37 4。5、時。遇外界火源會產(chǎn)生爆燃。速度可達5m，s、當(dāng)空氣中硅烷濃度超過4.5。處于亞穩(wěn)定狀態(tài).會發(fā)生延遲自燃性、濃度越高,延遲時間越短、這種延遲自燃性會導(dǎo)致爆燃.甚至爆轟，硅烷的首要危害是它的自燃性。毒性為次要危害、硅烷的半致死濃度、LC50 為9600ppm 白鼠.4小時吸入.工作場所最高允許濃度為5ppm,考慮員工及財產(chǎn)的安全，規(guī)定新建大宗硅烷站應(yīng)布置在獨立建筑物或構(gòu)筑物內(nèi),但是根據(jù)我國目前在北京、南京已建成的幾家TFT.LCD工廠的實際情況看。部分硅烷站與工廠的其他氣體供應(yīng)站布置在同一棟建筑內(nèi)、因此規(guī)范對該條作了靈活處理 規(guī)定在平面布置有困難時，改.擴建項目的大宗硅烷站可與工廠其他氣體供應(yīng)站房布置在同一建筑物內(nèi)、并用防爆墻與其他氣體供應(yīng)間隔開，8,3.7、可燃特種氣體包括自燃性?？扇夹詺怏w、此類氣瓶柜的設(shè)置應(yīng)依據(jù)該類特種氣體的自燃性、可燃性特性.規(guī)定了氣瓶柜內(nèi)設(shè)置的相關(guān)規(guī)定，如排風(fēng)次數(shù) 紫外紅外火焰探測器設(shè)置 自動滅火系統(tǒng)以及自燃性氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板等安全措施 以確保安全可靠運行，本條第1款規(guī)定硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次,h。該款的依據(jù)是。潔凈室消防標準 NFPA 318，2006第8.5。3條的相關(guān)條款。當(dāng)硅烷滿瓶時。壓力為1500PSI。保證硅烷安全的體積濃度0。4,爆炸下限為1，34 時的排風(fēng)量為284L.s、在氣瓶柜體積為0，85m3的狀況下。硅烷氣瓶柜的排氣次數(shù)為1200次,h。8，3，8、為防止自燃性.可燃性.毒性,腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮氣被本質(zhì)特種氣體污染。引發(fā)著火。中毒或設(shè)備拉壞等事故。應(yīng)在吹掃氮氣管線設(shè)置止回閥、8。3，9、自燃性.可燃性，毒性 腐蝕性特種氣體系統(tǒng)在抽真空或吹掃過程中排出的超過規(guī)定濃度的特種氣體和特種氣體混合氣對環(huán)境與人體將會造成著火 中毒和損害設(shè)備 管路等安全危害 因此這些特種氣體及混合氣應(yīng)通過排氣管道進入尾氣處理裝置進行處理 達到規(guī)定濃度后才能排入工廠排氣系統(tǒng).為防止不相容性特種氣體發(fā)生反應(yīng)引發(fā)事故。不相容性特種氣體應(yīng)分別采用不同的尾氣處理裝置進行處理 8，3，10,生產(chǎn)廠房內(nèi)的可燃和毒性特種氣體管道應(yīng)明敷。穿過生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管 套管內(nèi)的管道不得有焊縫,套管與管道之間應(yīng)采用密封措施.可燃.毒性.腐蝕性氣體管道的機械連接處應(yīng)置于排風(fēng)罩內(nèi) 8,3.11、工程實踐表明，電子工廠特種氣體和吹掃氣體管道輸送系統(tǒng)常用管道材料應(yīng)采用SS304。SS316，SS316L等不銹鋼無縫鋼管和HC，22哈氏合金無縫鋼管等，根據(jù)特種氣體品種和純度 雜質(zhì)含量要求,特種氣體管道內(nèi)表面應(yīng)進行潔凈和鈍化處理，管道內(nèi)表面粗糙度,對BA管道要求小于Ra40 EP管道要求小于Ra25，為此作了本條的原則性規(guī)定 8，3.12 管道系統(tǒng)產(chǎn)生的靜電會導(dǎo)致管道系統(tǒng)發(fā)生燃燒等危險現(xiàn)象，因此規(guī)定可燃。氧化性特種氣體管道應(yīng)設(shè)置靜電泄導(dǎo)的接地設(shè)施,8.3。14.由于自燃性，劇毒性和強腐蝕性氣體一旦泄漏,危害性極大，將會造成較大的人身傷亡和財產(chǎn)損失、目前在電子工廠中較多地采用雙層管道輸送這類特種氣體。屬于這類特種氣體的主要有。強反應(yīng)性氣體.B2H6。H2Se.GeH4.SiH4.Si2H6 SiHCH3.C2H2，B.CH3.3，F(xiàn)2.CIF3等、自燃性氣體,B2H6，GeH4。SiH4.Si2H6、SiHCH3，B，CH3，3等、劇毒性氣體,AsH3。PH3、GeH4.B2H6，H2Se,F2,B。CH3 3.NO,CIF3、PF5等，但是在工程實際中。由于每一個工廠對氣體特性的理解不同，從而導(dǎo)致同一種高危險性氣體在不同工廠所使用的管道不一致。為此本條為推薦性條文、