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2。術(shù),語2。0,1 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境，cleanrooms.and、associated.controlled。environment潔凈室及其附屬的、輔助的，相聯(lián)系的開放或封閉的內(nèi)部或周邊空間 該空間的懸浮微粒濃度等參數(shù)也受到符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的控制 2、0、2.單向流潔凈室.unidirectional,airflow、cleanroom由方向單一.流線平行并且速度均勻穩(wěn)定的單向流流過房間工作區(qū)整個截面的潔凈室。2，0,3,非單向流潔凈室 non unidirectional、airflow.cleanroom是指流線不平行.方向不單一,速度不均勻而且有交叉回旋的紊亂氣流流過房間工作區(qū)整個截面的潔凈室,亦稱亂流潔凈室,2。0，4,混合流潔凈室，mixed,airflow。cleanroom同時分別存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室，2.0,5，微粒、particle懸浮在空氣中的.固態(tài)的或液態(tài)的 活性的或非活性的物質(zhì).其粒徑.對本標(biāo)準(zhǔn)而言.在10nm、100μm的范圍.2。0，6,氣溶膠.aerosol在空氣中懸浮的微小固體或液體微粒的分散系 2.0。7,生物氣溶膠,bio，aerosol散布于氣態(tài)環(huán)境中的生物介質(zhì) 2。0,8,浮游菌.airborne。bacteria懸浮在空氣中的帶菌微粒、2，0.9，沉降菌，scttlemental，bacteria降落在表面上的帶菌微粒.2,0，10 測試用氣溶膠、test，aerosol呈氣態(tài)懸浮的固體或液體的微粒,其粒徑分布和濃度已知且受控。2，0,11、泄漏 leak空氣過濾器系統(tǒng)因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透過 透過的污染物超過下風(fēng)向濃度預(yù)計值.2,0.12.檢漏，leak,test找到過濾器和機組部件泄漏的方法,即使用氣溶膠光度計或光學(xué)粒子計數(shù)器以相互重疊的掃描區(qū)域掃描通過測試區(qū),2,0、13 過濾器安裝后泄漏測試。installed、filter leakage.test為確認(rèn)過濾器安裝良好所進行的測試 測試時要驗證設(shè)施沒有旁路滲漏,過濾器及過濾器和安裝框架間的密封面沒有缺陷和泄漏,2。0。14 靜態(tài) at rest全部建成且設(shè)施齊備,凈化空調(diào)系統(tǒng)運行正常,現(xiàn)場沒有人員 此時生產(chǎn)設(shè)備已安裝完畢而未運行的潔凈室狀態(tài)、或生產(chǎn)設(shè)備停止運行并進行自凈達到規(guī)定時間后的潔凈室狀態(tài) 或正在按建設(shè)方 用戶 和施工方商定的方式運行的潔凈室狀態(tài)、是潔凈室的三種占用狀態(tài)，空態(tài),靜態(tài)。動態(tài),之一。2,0 15,高純氣體。ultrapure，gas氣體成分純度大于或等于99。9995，含水量小于5ppm的氣體。2.0.16 純化水，purity.water。去離子水或深度脫鹽水，指溫度25,時.電阻率大于0、1 106Ω.cm的水。2.0.17.高純水，注射用水,ultrapure。water指溫度25。時,電阻率大于0.1。106Ω.cm 水中大于或等于0，5μm的塵粒小于300粒 mL?；钗⑸镄∮?個 mL的純水,2、0.18，大.宏.粒子，macroparticle當(dāng)量直徑大于5μm的微粒 2。0，19.超微粒子.ultrafine、particle當(dāng)量直徑小于0 1μm的微粒。2。0，20,永久氣體.permanent，gas臨界溫度低于.10、的氣體，如空氣,氧。氮。氦 甲烷，一氧化碳等，2.0。21，特種氣體,special。gas為滿足特定用途的氣體，包括單一氣體或混合氣體 單一氣體有259種。其中電子氣體115種。有機氣體63種.無機氣體35種 鹵碳素氣體29種,同位素氣體17種.2,0.22.醫(yī)用氣體.medical。gas符合醫(yī)療相關(guān)規(guī)定要求.供治療 診斷。預(yù)防等醫(yī)學(xué)方面使用的氣體，2。0。23 潔凈氣體。clean。gas單位體積所含微粒的數(shù)量小于或等于使用此氣體的潔凈環(huán)境潔凈度的常用氣體，2.0,24，分子態(tài)污染物.airborne,molecular，contamination、AMC含在空氣中的具有分子量級的污染物。如酸性氣體。堿性氣體，凝聚性有機物質(zhì).用于半導(dǎo)體的摻雜物，高揮發(fā)性有機物質(zhì)和分子級的金屬等，