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6，2。管材及附件6.2 1。除了純度與干燥度的控制外.潔凈室的潔凈度級(jí)別 是我們控制管道系統(tǒng)輸送氣體污染物粒子量級(jí)的重要依據(jù)、氣體管道系統(tǒng)供氣質(zhì)量符合潔凈室的等級(jí)要求、就能夠滿足工藝氣體潔凈度對(duì)粒子污染物的控制要求、關(guān)于管材選配原則，是這樣考慮的.1.管材的透氣性要小，1。對(duì)于不同材質(zhì)的管道。其透氣性能不同.如果管材本身透氣性較大.而安裝中不恰當(dāng)?shù)刈髁诉x用.那么 無(wú)論采取任何處理手段去除污染、都將無(wú)濟(jì)于事,管材透氣性見表1,防止大氣中氧的滲透和腐蝕、不銹鋼管和銅管最佳。對(duì)700mm長(zhǎng)管路中水分的測(cè)定,見表2.2、氣體中的水分主要來(lái)自管路系統(tǒng) 而管路系統(tǒng)中的水分 在很大程度上受周邊環(huán)境濕度的影響 滲透對(duì)管路內(nèi)的氣質(zhì)有很大破壞力,普通銅管內(nèi)表面對(duì)雜質(zhì)。尤其對(duì)水分的活性很高。因此.當(dāng)使用這類管材時(shí)、切忌用溶劑或化學(xué)藥品清洗.而應(yīng)當(dāng)用純凈氣體吹掃。3 由于管道安裝的環(huán)境可能在室外 即使在室內(nèi).環(huán)境空氣也有一定的濕度,對(duì)銅管也有一定的影響、所以 使用銅管時(shí)、對(duì)銅管的吹掃時(shí)間應(yīng)當(dāng)延長(zhǎng).一般為不銹鋼管的8。20倍。否則難以達(dá)到應(yīng)有的效果，4，不銹鋼管材的活性比銅管差。所以對(duì)要求較高的高純.潔凈氣體來(lái)說(shuō).不銹鋼管是一種較為理想的管材 對(duì)于在1、5級(jí)潔凈室內(nèi)，采用316L不銹鋼管。對(duì)應(yīng)國(guó)產(chǎn)品牌00Cr17Ni14Mo2 5、對(duì)于6。9級(jí)管路系統(tǒng),視要求的高低可以采用316或者304不銹鋼管。對(duì)應(yīng)國(guó)產(chǎn)品牌分別為0Cr17Ni12Mo2、0Cr18Ni9 6、對(duì)氧氣管路系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)使用條件和周邊狀況，可采用銅管，壓縮空氣管道，干燥度在、20，與、40，時(shí).采用不銹鋼管304.0Cr18Ni9，2、管材內(nèi)表面吸附，解吸氣體的作用要小,在不銹鋼熔煉制材過(guò)程中,每噸可吸收大約200g的氣體、所以、不銹鋼材加工完畢，不僅其表面粘有各種污染物。而且在其金屬晶格內(nèi)也吸留有一定量的氣體.這樣.當(dāng)管路中有氣流通過(guò)時(shí)，金屬所吸留的這部分氣體會(huì)重新進(jìn)入氣流中.污染純凈氣體。尤其當(dāng)管內(nèi)氣流為不連續(xù)流動(dòng)時(shí)，這類材料的作用好比吸附劑。通過(guò)氣流時(shí).管材對(duì)所通過(guò)的氣體形成壓力下吸附.氣流停止通過(guò)時(shí)，管材所吸附的氣體又形成降壓解析、而解析的氣體同樣作為雜質(zhì)進(jìn)入管內(nèi)純凈氣體中 同時(shí)。吸附。解析周而復(fù)始、使得管材內(nèi)表面金屬也會(huì)產(chǎn)生一定的粉末,這種金屬粉塵粒子同樣污染管內(nèi)純凈的氣體。3,保持管材內(nèi)表面光滑 耐磨損，管材的這一特性至關(guān)重要,為了確保輸送的氣體的純凈度.不僅要求管材內(nèi)表面有極高的光滑度 而且應(yīng)當(dāng)具有很高的耐磨特性 這樣 既防止污染粒子及濕氣在管壁滯留.管材本身在氣流的高速?zèng)_刷,擊 下,由于磨阻損耗低、也避免了管材的金屬粉末進(jìn)入氣流中,造成氣體的污染，不銹鋼管和銅管的不同見表3、2 為提高內(nèi)表面的相對(duì)粗糙度,要在管材生產(chǎn)工藝中加以解決。如特殊拉拔，光亮退火 內(nèi)面電拋光等,比起在施工過(guò)程中加以處理要有效和可靠 因此要使用成品專用管.一般不能在現(xiàn)場(chǎng)加工 處理使用,4 具有良好的抗腐蝕性能 在生產(chǎn)工藝中.使用腐蝕性較強(qiáng)的氣體時(shí),必須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則.管材將會(huì)由于腐蝕而在內(nèi)表面產(chǎn)生腐蝕斑,嚴(yán)重時(shí)會(huì)出現(xiàn)大片金屬銹班剝離甚至導(dǎo)致管道穿孔、從而污染輸配的純凈氣體.這種場(chǎng)合不得使用普通無(wú)縫鋼管或鍍鋅焊接鋼管 5 在焊接處理時(shí)管材組織不發(fā)生變化。大流量的高純 高潔凈度氣體輸配管道的連接、原則上全部采用焊接，因此要求采用的管材在施焊時(shí)組織不發(fā)生變化.如果選用鋼管、則低碳鋼管材，316L。較為適宜，否則、含碳過(guò)高的材料在焊接時(shí)，受焊接熱影響的部位可析出炭來(lái)。從而產(chǎn)生局部腐蝕應(yīng)力。造成焊接部位的透氣，使得管內(nèi)外氣體的相互滲透,破壞輸送氣體的純度.干燥度和潔凈度、導(dǎo)致各項(xiàng)努力全部失去意義，6 2 2、潔凈室內(nèi)的管材有具使用的特殊性,從進(jìn)貨.驗(yàn)證 保存,下料。焊接，裝配.試壓，吹除,運(yùn)行等工序都有著嚴(yán)格的要求,所有這些內(nèi)容與程序，都是管道系統(tǒng)質(zhì)量的技術(shù)保障措施，因此、條文規(guī)定比較詳細(xì)、以下幾點(diǎn)應(yīng)特別注意。1.潔凈管材十分珍貴 進(jìn)貨不能像普通管材那樣隨意碼放，不僅要保持外觀的清潔，包裝紙完好.更要防止磕碰。更重要的是保持內(nèi)表面的粗糙度與光滑不受破壞.2。管端頭的密封罩蓋，甚至管外壁的包裝紙都應(yīng)完好無(wú)損.否則便成為施工單位的保管失職，3、由于特殊拉拔工藝生產(chǎn)的內(nèi)表面，光亮退火B(yǎng)A,管材及內(nèi)面。電研磨拋光的EP，管材.加工工藝復(fù)雜,價(jià)格昂貴,市場(chǎng),內(nèi)壁光滑潔凈管，效果良莠不齊、不僅與國(guó)外的水平差距較大，國(guó)內(nèi)各廠家的產(chǎn)品效果也相差甚遠(yuǎn)。必須進(jìn)行相應(yīng)的粗糙度的檢測(cè)。驗(yàn)證其可靠性與真實(shí)性 確保施工起點(diǎn)高 從源頭消除隱患。確保潔凈室內(nèi)相應(yīng)級(jí)別的管道施工質(zhì)量、因此,隨機(jī)抽檢內(nèi)表面的粗糙度是否與設(shè)計(jì)相符、是否與出廠參數(shù)相符，是潔凈管道施工的一項(xiàng)重要的程序.系統(tǒng)內(nèi)表面加以處理 對(duì)減少管材自身可能造成的污染十分有效,目前 研磨 電拋光是管材內(nèi)表面處理的最佳方式.如果在機(jī)械加工后經(jīng)電拋光，則管路系統(tǒng)內(nèi)表面的粗糙度會(huì)得到較大的改善，見表5.為確保輸送氣體的質(zhì)量經(jīng)過(guò)管道輸送不發(fā)生變化增大了可靠性，6，2.5 管路附件材質(zhì)最低應(yīng)與主管材質(zhì)一致.在采用銅材的管路系統(tǒng)中。可以采用不銹鋼材質(zhì)的管路附件，而在采用不銹鋼材質(zhì)的管路系統(tǒng)中、不得采用低于主管材的銅材質(zhì)的管路附件.而且、凡是與應(yīng)用氣體接觸的管路系統(tǒng)，均不得含有塑料制件.不銹鋼管的耐磨性能優(yōu)于銅管、在氣流沖刷下產(chǎn)生的金屬粉塵相對(duì)也少、對(duì)潔凈度要求高的場(chǎng)合使用不銹鋼管316L、316.304,不得采用銅管材,銅管內(nèi)表而對(duì)雜質(zhì).尤其對(duì)水分的活性很高，因此。當(dāng)使用這類管材時(shí)，切忌用溶劑或化學(xué)藥品清洗，而應(yīng)當(dāng)用純凈氣體吹掃、清洗也比不銹鋼材難度大,而且在微電子生產(chǎn)中,個(gè)別生產(chǎn)工藝，如砷化鎵的操作,為了防止產(chǎn)生器件電阻，不允許使用銅質(zhì)管路及其附件，由于管道安裝的環(huán)境空氣也有一定的濕度,對(duì)銅管也有一定的影響、所以.使用銅管時(shí)，對(duì)銅管的吹掃時(shí)間應(yīng)當(dāng)延長(zhǎng),一般為不銹鋼管的8，20倍、