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8、3，特種氣體供應(yīng)8 3.1，特種氣體應(yīng)采用外購(gòu)鋼瓶氣體 液態(tài)氣體.在工廠內(nèi)設(shè)置儲(chǔ)存.分配系統(tǒng)、8，3.2。特種氣體儲(chǔ)存分配系統(tǒng)設(shè)備,應(yīng)根據(jù)特種氣體的性質(zhì)和儲(chǔ)存數(shù)量布置在獨(dú)立的建構(gòu)筑物內(nèi),或布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)，8，3，3.特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜、氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定.1 不相容氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中 2,不相容的特種氣體的氣瓶架應(yīng)布置在不同房間里,當(dāng)布置在同一房間時(shí).不相容特種氣體的氣瓶柜.氣瓶架之間的距離應(yīng)大于6m,3.氣瓶柜閉門時(shí)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次,h、且氣瓶柜應(yīng)保持負(fù)壓、4。自燃.可燃.毒性。腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄漏探測(cè)器.5,氣瓶柜門應(yīng)具備自動(dòng)關(guān)閉功能,并應(yīng)配備防爆玻璃觀察窗，氣瓶柜應(yīng)采取抗震措施。設(shè)計(jì)應(yīng)滿足當(dāng)?shù)乜拐鹪O(shè)防烈度的要求.8、3、4.可燃、自燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)符合下列規(guī)定 1.硅烷氣瓶柜閉門時(shí)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次,h,且應(yīng)連續(xù)監(jiān)控氣瓶柜的負(fù)壓。2，自燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外、紅外火焰探測(cè)器及水噴淋系統(tǒng)。3、可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)，4、自燃，可燃特種氣體的氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板、8,3、5、特種氣體系統(tǒng)吹掃氮?dú)獾脑O(shè)置,應(yīng)符合下列規(guī)定.1,特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)鈶?yīng)與獨(dú)立的氮?dú)庠催B接.不得與公用氮?dú)饣蚬に嚨獨(dú)庀到y(tǒng)相連，2、不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)獠坏霉灿猛坏獨(dú)庠矗?、吹掃氮?dú)夤芫€應(yīng)設(shè)置止回閥、8，3。6。特種氣體排氣與廢氣處理的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定，1,特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮?dú)庀♂屌c連續(xù)吹掃,2,不相容性特種氣體的排氣不得接入同一排氣主管，3，自燃.可燃,毒性,腐蝕性特種氣體的排氣應(yīng)經(jīng)過(guò)尾氣處理裝置進(jìn)行處理，排放應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)，GB,16297的有關(guān)規(guī)定 8 3。7.生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的可燃和毒性特種氣體管道應(yīng)明敷。穿過(guò)生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管。套管內(nèi)的管道不得有焊縫,套管與管道之間應(yīng)采用密封措施.可燃.毒性，腐蝕性氣體管道的機(jī)械連接處。應(yīng)置于排風(fēng)罩內(nèi)、8 3，8。特種氣體和吹掃氣體的管道和管件應(yīng)采用奧氏體超低碳不銹鋼無(wú)縫鋼管。內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理。8，3 9。自燃，可燃 氧化性特種氣體管道.應(yīng)設(shè)置靜電泄放的接地設(shè)施，8.3 10，室外布置的特種氣體管道應(yīng)架空布置，8、3、11.當(dāng)特種氣體為硅烷、磷烷、砷烷時(shí)，應(yīng)采用雙層管道設(shè)計(jì)，8、3。12,特種氣體采用雙層管輸送時(shí).雙層管的外層管道宜采用SS304奧氏體不銹鋼管道,內(nèi)層管道應(yīng)與所輸送特種氣體的性質(zhì)匹配,