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9，2,供暖、通風與廢氣處理9。2 2,發(fā)光二極管工廠潔凈室有比較嚴格的潔凈度和溫濕度要求.通常散熱器表面不平整。且構造復雜,這樣其表面易積灰且不易清除.另外當采用散熱器時.室內的溫濕度也不易控制。9。2，3。規(guī)定本條是為了確保動力站內的水系統(tǒng)、消防系統(tǒng)等不被凍結 另外也是為了檢修的需要。9。2，4 規(guī)定本條是為了確保操作人員的身體健康和生產安全.因為發(fā)光二極管工廠工藝設備生產過程中會散發(fā)有毒 有害和易燃易爆的物質、9，2 5,本條是對排風系統(tǒng)設計的規(guī)定 1、本款規(guī)定是為了提高金屬氧化物化學氣相沉積設備生產過程中排出的尾氣中有害物質的處理效率，因為有害物質在高濃度的狀態(tài)下容易實現(xiàn)高效捕捉或清除。另外對于單一有害物質,容易找到針對性的 高效率的處理方法。2，本款規(guī)定是為了避免因酸、堿廢氣不分開設置而發(fā)生反應并生成結晶物。該結晶物不易處理。且容易沉積、堵塞管路，酸,堿排風按一級負荷供電及工藝設備排風系統(tǒng)設置備用風機為提高工藝排風系統(tǒng)的可靠性、從而確保工藝生產不會因排風機的意外故障而中斷，也保證了操作人員的身體健康和生產安全 4 酸。堿排風管道中會有凝結液產生。該凝結液如不及時排除 將影響排風系統(tǒng)的正常運行或造成安全事故，該凝結液應收集。且應排放到相應的廢水管道中進入廢水處理站進行再處理。5，金屬氧化物化學氣相沉積設備排風中含有易燃易爆氣體、所以該排風系統(tǒng)應采取防火,防爆措施、具體措施包括排風管路系統(tǒng)的法蘭跨接、系統(tǒng)接地以及風機防爆等,6 本款規(guī)定是為了防止防火閥的誤動作而造成排風系統(tǒng)的失效、從而引發(fā)安全和生產的事故,另外即使發(fā)生火災時也不應將使此類排風系統(tǒng)停止運行,因為一方面排風系統(tǒng)可兼作排煙功能、另一方面一旦停止運行，工藝生產設備將向車間內散發(fā)比煙氣毒性更大的有害物質、7。酸.堿排風在經廢氣處理設備處理前處于負壓狀態(tài)。這樣一旦排風系統(tǒng)發(fā)生泄漏,不會出現(xiàn)未經處理的有害氣體直接排入大氣的現(xiàn)象,另外也可以使風機處于經廢氣處理設備處理后的低濃度腐蝕氣體運行環(huán)境.延長風機的使用壽命.9、2，6 本條是對廢氣處理系統(tǒng)設計的規(guī)定，1,考慮到發(fā)光二極管工廠酸,堿排風中有害物質的含量較大,如采用固定床吸附劑方式處理 吸附劑很快就會飽和,需頻繁更換吸附劑.調查發(fā)現(xiàn)采用固定床吸附劑方式處理廢氣的企業(yè),大部分不及時更換吸附劑.從而影響廢氣處理效果.造成環(huán)境污染,2 本款規(guī)定主要是為了使廢氣處理設備處于最佳的工作狀態(tài)，提高廢氣處理設備的處理效率 方便日常的操作維護，9.2、7。排氣筒高度應滿足國家規(guī)范，環(huán)境評估報告以及環(huán)保部門等要求、經處理過的有害廢氣雖然已滿足排放要求。但不等于沒有有害物，故規(guī)定排氣筒出口處的最小風速使廢氣直接排入高空。避免新風機組的吸風口吸入.9.2，8,金屬氧化物化學氣相沉積設備由于使用較大量的氫氣。為防止氫氣供應系統(tǒng)及使用氫氣的設備發(fā)生意外泄漏時出現(xiàn)氫氣積聚 從而引發(fā)爆炸隱患、所以該設備區(qū)域應設置不低于12次、h事故排風系統(tǒng).9 2、9.按照本規(guī)范規(guī)定氫氣管道應明敷在潔凈室內、且用氣設備也布置在潔凈室內、一般使用氫氣房間的吊頂上部不應存在氫氣,但考慮到該類廠房的潔凈室吊頂通常是由金屬壁板拼裝而成的,如果發(fā)生氫氣泄漏、氫氣會通過板縫滲入吊頂上部空間，這種滲透量雖然是極小的 但日積月累會有事故隱患,所以該房間的吊頂上部應設置通風換氣措施