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8，3。特種氣體供應(yīng)8 3，1 從目前發(fā)光二極管工廠(chǎng)特種氣體使用的具體情況看 特種氣體多采用外購(gòu)鋼瓶氣體，液態(tài)氣體.在工廠(chǎng)內(nèi)設(shè)置儲(chǔ)存。分配系統(tǒng),8。3，2,根據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范，GB，50016的規(guī)定，特種氣體儲(chǔ)存分配系統(tǒng)設(shè)備應(yīng)根據(jù)特種氣體的性質(zhì)和儲(chǔ)存數(shù)量，布置在獨(dú)立的建構(gòu)筑物內(nèi)或布置在生產(chǎn)廠(chǎng)房?jī)?nèi)，規(guī)定用耐火極限不低于2、0h不燃燒體的隔墻與其他生產(chǎn)區(qū)域分隔、隔墻上的門(mén)應(yīng)為甲級(jí)防火門(mén)，8。3、3、特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜。氣瓶架是特種氣體氣瓶存放和進(jìn)行氣體配送的裝置、1.規(guī)定不相容氣體瓶嚴(yán)禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中。目的是為了防止不相容氣體在非正常狀態(tài)下相遇發(fā)生反應(yīng)。釀成重大事故，本款為強(qiáng)制性條款.必須嚴(yán)格執(zhí)行、3、規(guī)定氣瓶柜閉門(mén)時(shí)排風(fēng)換氣次數(shù)不低于300次.h。目的是為了控制氣瓶柜內(nèi)的有害氣體如果一旦泄漏。其泄漏量能夠控制在安全濃度以下?？刂茪馄抗裨谪?fù)壓下運(yùn)行,是為了不讓有害氣體泄漏至工作環(huán)境中,保障員工的生命安全.該款制定的依據(jù)是SEMI。S2第23，5.3條.該條敘述.泄漏時(shí).環(huán)境中的濃度應(yīng)低于25.OEL.TLV,閉窗時(shí)。根據(jù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)得到風(fēng)量200m3、h、考慮不同公司、氣瓶柜的尺寸的差異、規(guī)定300次 h的換氣次數(shù),4,規(guī)定自燃性、可燃性.毒性,腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置氣體泄漏探測(cè)器 目的是在這些特種氣體泄漏開(kāi)始時(shí)就探測(cè)到這些有害氣體的泄漏狀況。采取措施預(yù)防事故發(fā)生 5、規(guī)定瓶柜門(mén)應(yīng)具備自動(dòng)關(guān)閉功能.并配備防爆玻璃觀(guān)察窗、目的是防止在人員誤操作的情況下導(dǎo)致氣體外泄到工作環(huán)境中，釀成重大事故。地腳螺栓的設(shè)計(jì)滿(mǎn)足當(dāng)?shù)氐卣鹆叶鹊囊笠彩菑陌踩慕嵌茸龀龅囊?guī)定,8,3。4?？扇夹蕴胤N氣體包括自燃性，可燃性氣體。此類(lèi)氣瓶柜的設(shè)置應(yīng)依據(jù)該類(lèi)特種氣體的自燃性，可燃性特性 規(guī)定了氣瓶柜內(nèi)設(shè)置的相關(guān)規(guī)定.如排風(fēng)次數(shù)。紫外,紅外火焰探測(cè)器設(shè)置、水噴淋系統(tǒng)以及自燃性氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板等安全措施。以確保安全可靠運(yùn)行 其中第一款規(guī)定硅烷氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次。h 該款的依據(jù)是美國(guó)消防協(xié)會(huì)發(fā)布的、Standard for the Protection.of,Semiconductor,Fabrication.Facilities.NFPA 318.2006第8 5.3的相關(guān)條款 當(dāng)硅烷滿(mǎn)瓶時(shí),壓力為1500PSI 保證硅烷安全的體積濃度0。4。爆炸下限為1，34 時(shí)的排風(fēng)量為284L,sec.在氣瓶柜體積為0。85m3的狀況下.硅烷氣瓶柜的排氣次數(shù)為1200次。h,8，3 5.為防止自燃性 可燃性 毒性 腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氮?dú)獗槐举|(zhì)特種氣體污染,引發(fā)著火 中毒或設(shè)備拉壞等事故 并應(yīng)在吹掃氮?dú)夤芫€(xiàn)設(shè)置止回閥、8 3，6.自燃性 可燃性,毒性.腐蝕性特種氣體系統(tǒng)在抽真空或吹掃過(guò)程中排出的超過(guò)規(guī)定濃度的特種氣體和特種氣體混合氣對(duì)環(huán)境與人體將會(huì)造成著火、中毒和損害設(shè)備.管路等安全危害.因此這些特種氣體及混合氣應(yīng)通過(guò)排氣管道進(jìn)入尾氣處理裝置進(jìn)行處理，達(dá)到規(guī)定濃度后才能排入動(dòng)力排氣系統(tǒng)，為防止不相容性特種氣體發(fā)生反應(yīng)引發(fā)事故.不相容性特種氣體應(yīng)分別采用不同的尾氣處理裝置進(jìn)行處理,8。3.7 為防止可燃和毒性特種氣體發(fā)生泄漏時(shí)造成人員傷害.本條規(guī)定生產(chǎn)廠(chǎng)房?jī)?nèi)的可燃和毒性特種氣體體管道應(yīng)明敷。穿過(guò)生產(chǎn)區(qū)墻壁與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管 套管內(nèi)的管道不得有焊縫,套管與管道之間應(yīng)采用密封措施、可燃。毒性、腐蝕性氣體管道的機(jī)械連接處.應(yīng)置于排風(fēng)罩內(nèi)、8,3 8.工程實(shí)踐表明,電子工廠(chǎng)特種氣體和吹掃氣體管道輸送系統(tǒng)常用管道材料應(yīng)采用SS304、SS316 SS316L等不銹鋼無(wú)縫鋼管和HC.22哈氏合金無(wú)縫鋼管等 根據(jù)特種氣體品種和純度。雜質(zhì)含量要求 特種氣體管道內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理、管道內(nèi)表面粗糙度、對(duì)BA管道要求小于Ra40.EP管道要求小于Ra25 為此，本條做了原則性規(guī)定 8、3,9、由于管道系統(tǒng)產(chǎn)生的靜電容易導(dǎo)致管道系統(tǒng)發(fā)生燃燒等危險(xiǎn)現(xiàn)象的發(fā)生、規(guī)定自燃性、可燃性、氧化性特種氣體，例如發(fā)光二極管生產(chǎn)用到的氧氣，氯氣 笑氣等，管道設(shè)置靜電泄放的接地設(shè)施、可有效,及時(shí)地泄放靜電、防止管道系統(tǒng)被靜電引燃 從而保障人員的安全和避免財(cái)產(chǎn)的損失.本條為強(qiáng)制性條文、必須嚴(yán)格執(zhí)行 8。3 11、由于硅烷,磷烷.砷烷這幾種特種氣體具有自燃性、劇毒性和強(qiáng)腐蝕性.氣體一旦泄漏 危害性極大、將會(huì)造成較大的人身傷亡和財(cái)產(chǎn)損失 所以電子工廠(chǎng)均采用雙層管道輸送這類(lèi)特種氣體，本條文為強(qiáng)制性條文、必須嚴(yán)格執(zhí)行。8 3，12.在保證安全和工藝要求的前提下。節(jié)省投資也是工程設(shè)計(jì)的重要內(nèi)容 為此。本條規(guī)定了雙層管的外管作為安全保護(hù)的第二道屏障 采用SS304材料即可滿(mǎn)足要求 且一般不做特殊的潔凈要求