7,2,結(jié)構(gòu)設(shè)計7、2。1。發(fā)光二極管生產(chǎn)廠房根據(jù)生產(chǎn)工藝的規(guī)模和場地布局確定采用單層還是多層的方案、并根據(jù)生產(chǎn)要求確定層高和柱距 1.單層排架結(jié)構(gòu)一般采用鋼筋混凝土排架結(jié)構(gòu)和鋼屋架或鋼梁與鋼筋混凝土柱組成的排架結(jié)構(gòu)。2.單層門式剛架鋼結(jié)構(gòu)體系抗側(cè)剛度較柔,由于潔凈的生產(chǎn)環(huán)境要求建筑具有較好的密閉性。因此.在風(fēng)荷載作用下.層間位移角不宜高于1.400,3,多層框架結(jié)構(gòu)體系一般采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)、4.多層框排架結(jié)構(gòu)體系一般采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)僅在屋面采用鋼屋架或鋼梁鉸支在柱頂上、在頂層形成排架結(jié)構(gòu),柱頂上的鋼屋架或鋼梁不是抗側(cè)力構(gòu)件.7,2,3。建筑物廠房外振源的振動大部分在淺層地基中以表而波的形式在水平方向傳播、傳到建筑物的基礎(chǔ)大底板下.這種建筑物效應(yīng)會使振動衰減、是微振中存在的顯著現(xiàn)象,根據(jù)有關(guān)文獻(xiàn)報告的對工程實(shí)例的調(diào)查分析和過去實(shí)際工程的實(shí)測、如果從一塊大板上割去一塊孤板用于支承敏感的設(shè)備,通過與鄰近大板的對比測量 被隔離的孤板水平振動增大較多、這種現(xiàn)象說明.基礎(chǔ)大板的存在可以抑制面波的水平成分、在垂直方向上,這種振動衰減與底板厚 柱距的大小有關(guān)系 由于光刻機(jī)為該工藝的核心生產(chǎn)設(shè)備,該精密設(shè)備除采取這些措施外 還應(yīng)考慮其受到的外部振源如地基振動、支持設(shè)備,現(xiàn)場作業(yè)的伴隨振源的影響,建議微振動控制宜咨詢有相關(guān)設(shè)備微振動控制經(jīng)驗(yàn)的結(jié)構(gòu)工程設(shè)計人員。