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9,3?？諝庹{(diào)節(jié)與凈化9,3,1。本條是對(duì)新風(fēng)處理機(jī)組設(shè)置的規(guī)定。1 本款規(guī)定是為了很好地控制潔凈室內(nèi)的正壓值 同時(shí)也為了節(jié)能。2。本款規(guī)定的目的是室外含塵空氣在送入潔凈室前徹底過濾,從而延長潔凈室頂部FFU內(nèi)過濾器或潔凈室頂部末端高效過濾器的使用壽命.9。3,2.規(guī)定本條是建議光刻間采用，新風(fēng)處理機(jī)組。風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組 干冷卻盤管.的凈化空調(diào)系統(tǒng).其他清凈室采用 新風(fēng)處理機(jī)組 循環(huán)空氣處理機(jī)組。高效過濾器送風(fēng)口.的凈化空調(diào)系統(tǒng)，作此規(guī)定主要考慮了潔凈室的形式,綜合造價(jià) 綜合能耗。系統(tǒng)可靠性，空間管理,運(yùn)行維護(hù)管理等因素 9、3，3、規(guī)定本條主要是防止金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間的危險(xiǎn)氣體竄到別的房間 9.3 4.規(guī)定本條主要是考慮房間相對(duì)濕度是由新風(fēng)機(jī)組保證的,干冷卻盤管不應(yīng)承擔(dān)去濕功能、避免在冬季出現(xiàn)新風(fēng)處理機(jī)組加濕而循環(huán)空氣處理機(jī)組去濕的相互抵消現(xiàn)象發(fā)生，9.3，5。規(guī)定本條主要是考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端高效過濾器隨運(yùn)行時(shí)間增加而積塵量上升.從而導(dǎo)致阻力加大、且末端高效過濾器的初.終阻力相差懸殊,若循環(huán)空調(diào)機(jī)組內(nèi)風(fēng)機(jī)不采取變頻調(diào)速措施。風(fēng)機(jī)始終以滿足末端高效過濾器終阻力狀態(tài)運(yùn)行.明顯不節(jié)能.9.3,6 發(fā)光二極管工廠冬季有大量的余熱,如制冷機(jī)組的冷凝器余熱,工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)余熱 空壓機(jī)組的壓縮余熱等.這部分余熱量很大、但能提供的溫度相對(duì)較低。所以設(shè)計(jì)加熱和加濕系統(tǒng)時(shí)。應(yīng)考慮最大限度的利用這部分余熱、如采用溫水加濕方式.兩級(jí)加熱,兩級(jí)加濕。方式等。9。3.9,目前對(duì)于潔凈度嚴(yán)于等于6級(jí)的潔凈室大多采用 新風(fēng)處理機(jī)組.風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組、干冷卻盤管 的凈化空涮系統(tǒng) 且使用的風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組,FFU，規(guī)格大部分為1200mm.1200mm,按照國家現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) 風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組.JG，T 388的有關(guān)規(guī)定 1200mm 1200mm的單機(jī)噪聲，標(biāo)準(zhǔn)型，57dB、A.根據(jù)國內(nèi)幾個(gè)工廠潔凈室噪聲的實(shí)測數(shù)據(jù)、當(dāng)潔凈室FFU采用滿布時(shí)、清凈室內(nèi)FFU的疊加噪聲一般為FFU的單機(jī)噪聲加13dB、A，左右、所以本規(guī)范將該類潔凈室的噪聲適當(dāng)放寬、