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9.3?？諝庹{(diào)節(jié)與凈化9.3.1 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)應(yīng)進(jìn)行集中處理 新風(fēng)處理機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定.1 送風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動(dòng)調(diào)速措施。2.空氣宜經(jīng)過(guò)粗效.中效、高效過(guò)濾器三級(jí)處理 3.新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)有良好的氣密性、在工作壓力下的漏風(fēng)率不得大于1.9。3，2.光刻間凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組和干冷卻盤管處理，其他潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)宜采用循環(huán)空氣處理機(jī)組處理 9 3.3，金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間的凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置.9。3。4.循環(huán)空氣處理機(jī)組宜采用干冷卻方式處理空氣，9 3，5。循環(huán)空氣處理機(jī)組的風(fēng)機(jī)應(yīng)采取自動(dòng)調(diào)速措施。9。3、6,空調(diào)加熱,加濕系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)利于工廠余熱的利用。9，3.7。潔凈室的送風(fēng)量。應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范、GB.50073的有關(guān)規(guī)定.9、3。8,凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)吸入口位置,應(yīng)遠(yuǎn)離排放有害物或可燃物的排氣口、9，3，9 潔凈室的噪聲控制設(shè)計(jì)的噪聲級(jí)，空態(tài).應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范,GB,50472的有關(guān)規(guī)定、但當(dāng)潔凈室采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組和干冷卻盤管處理循環(huán)空氣時(shí).單向流和混合流潔凈室的噪聲級(jí) 空態(tài).不應(yīng)大于70dB。A。非單向流潔凈室的噪聲級(jí)，空態(tài).不應(yīng)大于65dB、A