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6,2,防火及安全疏散6、2,1,發(fā)光二極管工廠潔凈廠房不同于一般工業(yè)廠房,具有下列特點(diǎn)。1,空間密閉、火災(zāi)發(fā)生后,煙量特大、對于疏散和撲救極為不利 2 平面布置曲折.增加了疏散路線上的障礙,延長了安全疏散的距離和時(shí)間 3 生產(chǎn)過程使用易燃易爆物質(zhì),火災(zāi)危險(xiǎn)性高 同時(shí)。潔凈廠房內(nèi)往往有不少極為精密、貴重的設(shè)備,建設(shè)投資十分昂貴、一旦失火.損失極大、為了保障生命,財(cái)產(chǎn)的安全 盡量減少火災(zāi)中的損失,本條規(guī)定將潔凈廠房耐火等級定為二級及二級以上 使建筑構(gòu)配件耐火性能與生產(chǎn)相適應(yīng)。從而減少成災(zāi)的可能性,6,2。2.本條將金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類定為丙類的依據(jù)為,電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范、GB、50472。2008。在該規(guī)范的附錄B中提出,化學(xué)氣相沉積間在滿足設(shè)備密閉性良好,并設(shè)有氣體或可燃蒸汽報(bào)警裝置和滅火裝置時(shí)。應(yīng)按丙類、否則應(yīng)按甲類設(shè)防,金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積屬于化學(xué)氣相沉積工藝的一種,根據(jù)調(diào)研資料、目前進(jìn)行金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積生產(chǎn)的設(shè)備為密閉性良好設(shè)備,在設(shè)備上設(shè)有緊急安全按鈕,待機(jī)狀態(tài)管路腔體氮?dú)獯祾弑Wo(hù)。氣體泄露報(bào)警、腔體超壓報(bào)警 腔體與外圍真空泵雙密封保護(hù).設(shè)備連鎖尾氣處理設(shè)備。冷卻水流量壓力保護(hù),冷卻風(fēng)溫報(bào)警 突發(fā)停電后設(shè)備UPS電源保護(hù),緊急冷卻水自動(dòng)冷卻系統(tǒng)一系列安全設(shè)計(jì),另外。氫氣。氨氣,硅烷,砷烷,磷烷等易爆.易燃.有毒氣體供應(yīng)管路設(shè)有緊急切斷閥,一旦發(fā)生事故?;鹎闀r(shí).自動(dòng)切斷氣源供應(yīng),工程設(shè)計(jì)中.應(yīng)采取一系列的安全防護(hù)措施、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的尾氣設(shè)置就地處理裝置。該設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)采取防火.防爆措施。金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積間設(shè)置氣體報(bào)警裝置和滅火裝置、噴淋、設(shè)置不低于12次,h的事故排風(fēng)措施,該房間吊頂上部設(shè)置通風(fēng)換氣措施。避免出現(xiàn)氫氣的集聚。氫氣,氨氣的供應(yīng)管道設(shè)置有氣體閥門箱.閥門箱中設(shè)置有局部通風(fēng)措施、硅烷 砷烷,磷烷等氣瓶放置在氣瓶柜中,氣瓶柜中設(shè)置氮?dú)獗Wo(hù)氣體、并設(shè)置有通風(fēng)措施。根據(jù)上述情況,在滿足生產(chǎn)設(shè)備密閉性良好.并設(shè)有氣體或可燃蒸汽報(bào)警裝置和滅火裝置時(shí) 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積間應(yīng)按丙類。否則應(yīng)按甲類設(shè)防,6 2 6 本條說明如下。1、發(fā)光二極管工廠生產(chǎn)使用所需要的低壓。低沸點(diǎn)特種氣體,由于輸送過程中極易液化,無法采用長距離管道輸送,不可避免地會(huì)設(shè)在廠房內(nèi) 如高純氣體純化間.有可燃?xì)怏w的氣體入口室,特種氣體儲(chǔ)存分配間.可燃化學(xué)品儲(chǔ)存。分配間等,2.對于有爆炸危險(xiǎn)的易燃易爆化學(xué)品及氣體的配送間在設(shè)置足夠的泄壓面積后,可大大減輕爆炸時(shí)的破壞強(qiáng)度.避免因主體結(jié)構(gòu)遭受破壞而造成重大人員傷亡和經(jīng)濟(jì)損失、在現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn),建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范,GB。50016、2016中明確規(guī)定。對有爆炸危險(xiǎn)的甲乙類生產(chǎn)部位。宜設(shè)置在單層廠房外墻的泄壓設(shè)施或多層廠房頂層靠外墻的泄壓設(shè)施附近.
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